[發(fā)明專利]激光振蕩器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811580719.1
• 申請(qǐng)日: 2018-12-24
• 公開（公告）號(hào): CN110137787B
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田中研太;河村讓一;萬(wàn)雅史;岡田康弘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 住友重機(jī)械工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01S3/034
• 分類號(hào): H01S3/034
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫

1.一種激光振蕩器，其特征在于，具有：

腔室，其容納激光介質(zhì)氣體；

一對(duì)放電電極，其在所述腔室內(nèi)部的放電空間產(chǎn)生放電；及

一對(duì)諧振腔反射鏡，其配置于所述腔室的內(nèi)部空間且支承于所述腔室，并且構(gòu)成具有通過(guò)所述放電空間的光軸的光學(xué)諧振腔，

所述諧振腔反射鏡固定于低熱膨脹材料，

所述放電電極以使其能夠沿所述光學(xué)諧振腔的光軸方向自由熱膨脹的方式支承于所述腔室的內(nèi)部空間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光振蕩器，其特征在于，

還具有支承部件，所述支承部件包括所述低熱膨脹材料，其配置于所述腔室的內(nèi)部空間，并且將所述諧振腔反射鏡支承于所述腔室。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光振蕩器，其特征在于，

所述低熱膨脹材料由熱膨脹系數(shù)低于構(gòu)成所述腔室的材料的熱膨脹系數(shù)的材料形成，

所述諧振腔反射鏡固定于所述低熱膨脹材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光振蕩器，其特征在于，

所述低熱膨脹材料以使所述腔室相對(duì)于所述低熱膨脹材料能夠在所述光學(xué)諧振腔的光軸方向上伸縮的方式支承于所述腔室。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的激光振蕩器，其特征在于，

所述放電電極支承于所述低熱膨脹材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光振蕩器，其特征在于，

所述放電電極以使其能夠沿所述光學(xué)諧振腔的光軸方向自由熱膨脹的方式支承于所述低熱膨脹材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的激光振蕩器，其特征在于，

還具有鼓風(fēng)機(jī)，其容納于所述腔室的內(nèi)部空間且其使所述腔室內(nèi)部的激光介質(zhì)氣體循環(huán)，

所述腔室在腔室支承點(diǎn)上被支承，

容納所述鼓風(fēng)機(jī)的鼓風(fēng)機(jī)室從所述腔室支承點(diǎn)向下方懸掛。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光振蕩器，其特征在于，

所述放電電極在所述腔室的壁面上的電極支承點(diǎn)上被支承，所述諧振腔反射鏡在所述腔室的壁面上的反射鏡支承點(diǎn)上被支承，所述電極支承點(diǎn)、所述反射鏡支承點(diǎn)及所述腔室支承點(diǎn)在所述腔室的高度方向上的彼此之間的最大間隔為所述腔室的高度的20％以下。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的激光振蕩器，其特征在于，

還具有隔板，其配置于所述腔室內(nèi)且其隔開由所述鼓風(fēng)機(jī)室、從所述鼓風(fēng)機(jī)室至所述放電空間為止的第1氣體流路、所述放電空間及從所述放電空間至所述鼓風(fēng)機(jī)室為止的第2氣體流路構(gòu)成的激光介質(zhì)氣體的循環(huán)路徑和容納有所述諧振腔反射鏡的空間，并且在其與所述光學(xué)諧振腔的光軸交叉的部位設(shè)置有開口。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的激光振蕩器，其特征在于，

在所述循環(huán)路徑的從所述鼓風(fēng)機(jī)至所述放電空間為止的部分的所述隔板上，設(shè)置有使激光介質(zhì)氣體從所述循環(huán)路徑向容納有所述諧振腔反射鏡的空間流出的流出孔。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的激光振蕩器，其特征在于，

在所述流出孔設(shè)置有用于去除微粒的過(guò)濾器。