[發明專利]一種光學濾波器件在審
| 申請號： | 201811578300.2 | 申請日： | 2018-12-21 |
| 公開（公告）號： | CN109581561A | 公開（公告）日： | 2019-04-05 |
| 發明（設計）人： | 孟彥龍;李裔;裘燕青 | 申請（專利權）人： | 杭州菲柏斯科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B5/20 | 分類號： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市下沙經濟技術開發*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 過渡金屬氮化物 光學濾波器 波長選擇功能 波長選擇性 傳統濾波器 選擇性透過 光學狹縫 濾波器件 貴金屬 半峰寬 低成本 匹配層 波長 襯底 光譜 狹縫 替代 | ||
【權利要求書】：
1.一種光學濾波器件，其特征在于包含了由襯底(1)、過渡金屬氮化物(2)和光學匹配層(3)，其中過渡金屬氮化物(2)制備在襯底(1)上面并且中間有寬度為W凹槽，光學匹配層(3)覆蓋在過渡金屬氮化物(2)上并將凹槽填充，整體結構沿垂直凹槽的方向以周期p排列。
2.根據權利要求1所述的一種光學濾波器件，其特征在于過渡金屬氮化物(2)的為TiN、ZrN中的一種。
3.根據權利要求1所述的一種光學濾波器件，其特征在于過渡金屬氮化物(2)的厚度T2在10nm～500nm之間。
4.根據權利要求1所述的一種光學濾波器件，其特征在于襯底(1)為禁帶寬度大于4eV的介質材料。
5.根據權利要求1所述的一種光學濾波器件，其特征在于光學匹配層(3)的厚度T1在5nm～300nm之間。
6.根據權利要求1所述的一種光學濾波器件，其特征在于光學匹配層(3)折射率在1.2～2.5之間。
7.根據權利要求1所述的一種光學濾波器件，其特征在于凹槽寬度W在5nm～300nm之間。
8.根據權利要求1所述的一種光學濾波器件，其特征在于周期p在10nm～300nm之間。
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