[發明專利]一種薄膜類產品生產線及薄膜類產品生產方法在審
| 申請號: | 201811577704.X | 申請日: | 2018-12-20 |
| 公開(公告)號: | CN111354666A | 公開(公告)日: | 2020-06-30 |
| 發明(設計)人: | 彭侃;李建 | 申請(專利權)人: | 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 | 代理人: | 黃志華 |
| 地址: | 100176 北京市大興區經*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 薄膜 類產品 生產線 生產 方法 | ||
1.一種薄膜類產品生產線,其特征在于,在流轉方向上,設置有移動設備以及多臺工藝設備;
所述移動設備能夠沿所述流轉方向將產品自上一所述工藝設備轉移至下一所述工藝設備,以實現所述產品沿所述流轉方向的流轉。
2.根據權利要求1所述的薄膜類產品生產線,其特征在于,沿所述流轉方向包括至少兩條具有設定方向的流水線,所述流水線順次首尾相接,以形成所述生產線。
3.根據權利要求2所述的薄膜類產品生產線,其特征在于,所述移動設備包括拾取裝置和移動裝置;
所述拾取裝置,抓取和/或釋放所述產品;
所述移動裝置,帶動所述拾取裝置沿所述設定方向移動。
4.根據權利要求3所述的薄膜類產品生產線,其特征在于,所述移動裝置包括驅動組件、導軌和移動支架;
所述導軌沿所述設定方向設置于所述工藝設備的上方;
所述移動支架的一端可移動地連接于所述導軌;
所述拾取裝置設置于所述移動支架的另一端;
所述驅動組件,驅動所述移動支架在所述導軌上移動。
5.根據權利要求3所述的薄膜類產品生產線,其特征在于,所述拾取裝置包括氣缸、吸附座以及吸盤;
所述氣缸的固定端連接于所述移動裝置的另一端;
所述吸附座連接于所述氣缸的活動端;
所述吸盤設置于所述吸附座上,所述吸盤的吸附面朝向所述工藝設備。
6.根據權利要求5所述的薄膜類產品生產線,其特征在于,所述氣缸的數量為一個,所述氣缸的固定端連接于所述移動裝置;所述氣缸的活動端連接有一個所述吸附座;所述吸附座上設置有一個所述吸盤,所述吸盤的吸附面朝向所述工藝設備;或,
所述氣缸的數量為多個,每個所述氣缸的固定端均連接于所述移動裝置;每個所述氣缸的活動端連接有多個所述吸附座;每個所述吸附座上設置有多個所述吸盤,多個所述吸盤的吸附面均朝向所述工藝設備;或,
所述氣缸的數量為多個,每個所述氣缸的固定端均連接于所述移動裝置;多個所述氣缸的活動端均連接同一個所述吸附座;所述吸附座上設置有多個所述吸盤,多個所述吸盤的吸附面均朝向所述工藝設備。
7.根據權利要求1至6中任一項所述的薄膜類產品生產線,其特征在于,還包括中央控制器;
所述中央控制器分別通信連接所述工藝設備和所述移動設備,以使所述中央控制器根據所述工藝設備發來的工作狀態控制所述移動設備沿所述流轉方向將產品自上一所述工藝設備轉移到下一所述工藝設備。
8.根據權利要求1所述的薄膜類產品生產線,其特征在于,相鄰的所述工藝設備之間設置有用于暫時放置產品的暫存工作臺。
9.一種薄膜類產品的生產方法,其特征在于,采用如權利要求1-8中任一項所述薄膜類產品生產線,包括以下步驟:
所述移動設備移走在上一所述工藝設備上完成加工的產品;
確認下一所述工藝設備的工作狀態;
若下一所述工藝設備處于空閑狀態,則所述移動設備將所述產品放置于下一所述工藝設備上,以將所述產品自上一所述工藝設備轉移至下一所述工藝設備。
10.根據權利要求9所述的薄膜類產品的生產方法,其特征在于,所述確認下一所述工藝設備的工作狀態之后,所述方法還包括:
若下一所述工藝設備處于忙碌狀態,則在下一所述工藝設備對所述產品加工完成后,所述移動設備將所述產品放置于下一所述工藝設備上,以將所述產品自上一所述工藝設備轉移至下一所述工藝設備。
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H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





