[發(fā)明專利]一種設(shè)有金屬隔離層的內(nèi)襯式防腐裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811576319.3
• 申請(qǐng)日: 2018-12-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109611647A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 洪厚軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇瑞能防腐設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): F16L58/10
• 分類號(hào): F16L58/10
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明涉及一種設(shè)有金屬隔離層的內(nèi)襯式防腐裝置，包括管件本體和防腐內(nèi)襯層，防腐內(nèi)襯層與管件本體的內(nèi)壁之間設(shè)有隔離層，隔離層與管件本體的內(nèi)壁連接和固定，同時(shí)隔離層與防腐內(nèi)襯層連接形成整體結(jié)構(gòu)。隔離層由氟塑料制成，隔離層通過(guò)注塑方式與管件本體連接和固定；所述防腐內(nèi)襯層通過(guò)注塑方式與隔離層連接和固定。本發(fā)明在管件本體和防腐內(nèi)襯層之間增設(shè)隔離層，隔絕了管件注塑過(guò)程中金屬離子的滲透和污染，使得注塑的防腐內(nèi)襯層更加潔凈，從而保證化學(xué)清洗劑不受污染。本發(fā)明解決了傳統(tǒng)注塑方式金屬離子易滲透到注塑內(nèi)襯層中，并污染化學(xué)清洗劑的問(wèn)題，從而能夠有效保障半導(dǎo)體器件的產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及防腐管件技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種設(shè)有金屬隔離層的內(nèi)襯式防腐裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)中，硅片是制造半導(dǎo)體器件的核心材料。由于硅片表面存在著自由力場(chǎng)，因而與硅片接觸的雜質(zhì)微粒將被它吸住，例如，一些不利的雜質(zhì)(有機(jī)雜質(zhì)和無(wú)機(jī)雜質(zhì))沾污硅片表面，它往往會(huì)改變半導(dǎo)體表面的性質(zhì)，對(duì)于金屬離子沾污，必須采用化學(xué)的方法才能清洗其沾污。因此，半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)于儲(chǔ)存和輸送化學(xué)清洗劑的容器和管道要求極高，不能產(chǎn)生金屬離子污染。

目前，半導(dǎo)體行業(yè)用的管道及其管件，通常是在金屬管件內(nèi)部通過(guò)注塑獲得的防腐內(nèi)襯層來(lái)隔離金屬和化學(xué)清洗劑，但是在管件加工的注塑操作過(guò)程中，仍然會(huì)有少量的金屬離子滲透到注塑內(nèi)襯層中，使用時(shí)有可能污染化學(xué)清洗劑，進(jìn)而影響半導(dǎo)體器件的產(chǎn)品質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種管件本體和防腐內(nèi)襯層之間增設(shè)隔離層的設(shè)有金屬隔離層的內(nèi)襯式防腐裝置。

本發(fā)明的目的是通過(guò)采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的：

一種設(shè)有金屬隔離層的內(nèi)襯式防腐裝置，包括管件本體和防腐內(nèi)襯層，防腐內(nèi)襯層與管件本體的內(nèi)壁連接和固定，所述防腐內(nèi)襯層與管件本體的內(nèi)壁之間設(shè)有隔離層，隔離層與管件本體的內(nèi)壁連接和固定，同時(shí)隔離層與防腐內(nèi)襯層連接形成整體結(jié)構(gòu)。

作為本發(fā)明的優(yōu)選技術(shù)方案，所述隔離層的材料包括塑料或涂料，隔離層通過(guò)注塑或噴涂方式覆蓋到管件本體內(nèi)壁的表面。

作為本發(fā)明的優(yōu)選技術(shù)方案，所述隔離層由氟塑料制成，氟塑料包括PFA、PTFE、PVDF、FEP、ECTFE、ETFE。

作為本發(fā)明的優(yōu)選技術(shù)方案，所述隔離層通過(guò)注塑方式與管件本體連接和固定。

作為本發(fā)明的優(yōu)選技術(shù)方案，所述防腐內(nèi)襯層由氟塑料制成，氟塑料包括PFA、PTFE、PVDF、FEP、ECTFE、ETFE。

作為本發(fā)明的優(yōu)選技術(shù)方案，所述防腐內(nèi)襯層通過(guò)注塑方式與隔離層連接和固定。

作為本發(fā)明的優(yōu)選技術(shù)方案，所述管件本體由金屬材料制成，管件本體包括管道、塔節(jié)、三通、四通、彎頭、大小頭、管帽、管接頭、短節(jié)。

本發(fā)明的有益效果是：相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明在管件本體和防腐內(nèi)襯層之間增設(shè)隔離層，隔絕了管件注塑過(guò)程中金屬離子的滲透和污染，使得注塑的防腐內(nèi)襯層更加潔凈，從而保證化學(xué)清洗劑不受污染。本發(fā)明解決了傳統(tǒng)注塑方式金屬離子易滲透到注塑內(nèi)襯層中，并污染化學(xué)清洗劑的問(wèn)題，從而能夠有效保障半導(dǎo)體器件的產(chǎn)品質(zhì)量。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、管件本體，2、防腐內(nèi)襯層，3、隔離層，4、法蘭。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明：