[發明專利]振動梁式加速度計

有效

• 申請號: 201811571811.1
• 申請日: 2018-12-21
• 公開（公告）號: CN110082563B
• 公開（公告）日: 2023-01-03
• 發明（設計）人: J.斯特雷洛;M.諾瓦克
• 申請（專利權）人: 霍尼韋爾國際公司
• 主分類號: G01P15/097
• 分類號: G01P15/097
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 曹凌;傅永霄

本發明涉及一種振動梁式加速度計。具體公開了：一種檢驗質量塊組件，包括：第一諧振器和第二諧振器，每個諧振器包括第一結合墊和第二結合墊、以及一對長形齒部，其中，第一結合墊和第二結合墊定位在長形齒部的相對端處；檢驗質量塊，其包括第一主要表面和第二主要表面，檢驗質量塊的第一主要表面包括結合區域，該結合區域包括至少一個通道，所述至少一個通道在基本上平行于第一諧振器的長形齒部的縱向軸線的方向上延伸；檢驗支撐件，其包括第一主要表面和第二主要表面；至少一個屈曲件，其將檢驗質量塊連接到檢驗支撐件；以及粘合劑，其將第一諧振器的第一結合墊結合到結合區域以及將第一諧振器的第二結合墊結合到檢驗支撐件的第一主要表面。

本申請要求2018年1月26日提交的美國臨時申請號62/622,548的權益，所述申請通過引用整體地并入本文中。

技術領域

本公開涉及振動梁式加速度計，也稱為諧振梁式加速度計。

背景技術

加速度計通過在慣性力下檢測檢驗質量塊（proof mass）的位移來起作用。一種檢測力和加速度的技術是測量質量塊相對于框架的位移。另一種技術是測量諧振器中誘導的應力，因為它們抵消了檢驗質量塊的慣性力。例如，當加速度計經受外力時，可通過測量諧振器的頻率變化來確定應力。

發明內容

在一些示例中，本公開描述了振動梁式加速度計（VGA），其在檢驗質量塊與諧振器之間具有結合機構，從而導致加速度計具有改進的準確度和精度以及較低的測量誤差。

在一些示例中，本公開描述了一種檢驗質量塊組件，其包括：第一諧振器和第二諧振器，其中，每個相應的諧振器包括相應的第一結合墊、相應的第二結合墊、以及相應的一對長形齒部，并且其中，相應的第一結合墊和相應的第二結合墊定位在相應的諧振器的相應的一對長形齒部的相對端處；檢驗質量塊，其包括第一主要檢驗質量塊表面和第二主要檢驗質量塊表面，其中，第一主要檢驗質量塊表面包括結合區域，該結合區域包括至少一個通道，所述通道在基本上平行于第一諧振器的相應的一對長形齒部的縱向軸線的方向上延伸；檢驗支撐件，其包括第一主要檢驗支撐件表面和第二主要檢驗支撐件表面；至少一個屈曲件，其將檢驗質量塊連接到檢驗支撐件；以及粘合劑，其將第一諧振器的相應的第一結合墊結合到第一主要檢驗質量塊表面的結合區域、將第一諧振器的相應的第二結合墊結合到第一主要檢驗支撐件表面、將第二諧振器的相應的第一結合墊結合到第二主要檢驗質量塊表面、以及將第二諧振器的相應的第二結合墊結合到第二主要檢驗支撐件表面。

在一些示例中，本公開描述了一種檢驗質量塊組件，其包括：第一諧振器和第二諧振器，其中，每個相應諧振器包括相應的第一結合墊、相應的第二結合墊、以及相應的一對長形齒部，并且其中，相應的第一結合墊和相應的第二結合墊定位在相應的諧振器的相應的一對長形齒部的相對端處；相應的第一結合墊和相應的第二結合墊各自包括在基本上垂直于相應的長形齒部的縱向軸線的方向上延伸的相應的槽，每個相應的槽包括在基本上垂直于相應的長形齒部的縱向軸線的方向上測量的長度；檢驗質量塊，其包括第一主要檢驗質量塊表面和第二主要檢驗質量塊表面，其中，第一主要檢驗質量塊表面包括結合區域，該結合區域的邊緣由第一主要檢驗質量塊表面中的在與第一諧振器的縱向軸線基本上平行的方向上延伸的至少一對通道確定，該結合區域包括在基本上垂直于第一諧振器的縱向軸線的方向上測量的寬度，其中，該寬度約等于或小于第一諧振器的相應的第一結合墊的相應的槽的長度；檢驗支撐件，其包括第一主要檢驗支撐件表面和第二主要檢驗支撐件表面；至少一個屈曲件，其將檢驗質量塊連接到檢驗支撐件；以及粘合劑，其將第一諧振器的相應的第一結合墊結合到第一主要檢驗質量塊表面的結合區域，其中，結合區域的邊緣對齊成與相應的第一結合墊的相應的槽的邊緣基本上齊平；將第一諧振器的相應的第二結合墊結合到第一主要檢驗支撐件表面；將第二諧振器的相應的第一結合墊結合到第二主要檢驗質量塊；以及將第二諧振器的相應的第二結合墊結合到第二主要檢驗支撐件表面。