[發明專利]對稱布置的激光位移傳感器的光束對準裝置及對準方法

在審

• 申請號: 201811571027.0
• 申請日: 2018-12-21
• 公開（公告）號: CN109668512A
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 李星輝;李建雄;周倩;倪凱;王曉浩
• 申請（專利權）人: 清華大學深圳研究生院
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G02B27/30
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 唐致明

1.一種對稱布置的激光位移傳感器的光束對準裝置，其特征在于，包括光屏，以及對稱設于所述光屏兩側的一對二級角度放大裝置、對稱設于所述光屏兩側的一對一級對準小孔，其中，

所述一級對準小孔、所述二級角度放大裝置、所述光屏沿光束的傳輸方向依次設置，所述一級對準小孔與所述二級角度放大裝置同心設置。

2.根據權利要求1所述的對稱布置的激光位移傳感器的光束對準裝置，其特征在于，所述二級角度放大裝置包括沿光束的傳輸方向依次設置的第一角度放大透鏡、第二角度放大透鏡。

3.根據權利要求2所述的對稱布置的激光位移傳感器的光束對準裝置，其特征在于，所述第一角度放大透鏡與所述第二角度放大透鏡之間的距離等于所述第一角度放大透鏡與所述第二角度放大透鏡的焦距之和。

4.根據權利要求2所述的對稱布置的激光位移傳感器的光束對準裝置，其特征在于，所述第二角度放大透鏡與所述光屏之間的距離大于所述第二角度放大透鏡的焦距。

5.根據權利要求1所述的對稱布置的激光位移傳感器的光束對準裝置，其特征在于，所述一級對準小孔包括沿光束傳輸方向依次設置的入射端與出射端，所述入射端與所述出射端之間設有間距。

6.根據權利要求1所述的對稱布置的激光位移傳感器的光束對準裝置，其特征在于，所述光屏采用黑色氧化材料。

7.根據權利要求1所述的對稱布置的激光位移傳感器的光束對準裝置，其特征在于，所述光屏的兩側面設有刻度標線。

8.根據權利要求7所述的對稱布置的激光位移傳感器的光束對準裝置，其特征在于，所述刻度標線采用與光束不同的顏色。

9.根據權利要求1-8中任一項所述的對稱布置的激光位移傳感器的光束對準裝置，其特征在于，還包括第一支架、第二支架以及安裝底座，所述一級對準小孔設于所述第一支架上，所述二級角度放大裝置設于所述第二支架上，所述第一支架、所述第二支架以及所述光屏安裝于所述安裝底座上。

10.一種對稱布置的激光位移傳感器的光束對準方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1，將激光位移傳感器打開，并將光束對準裝置置于兩個激光位移傳感器之間的中間位置；

S2，使光屏兩側的激光光束通過對應的一級對準小孔，且不在一級小孔的孔壁上形成亮斑；

S3，光屏兩側的激光光束在通過一級對準小孔后，二級角度放大裝置對其偏轉角度進行放大，并將光屏兩側激光光束分別投影在光屏的兩側面上；

S4，根據光屏兩側面上形成的光斑的位置和方向，調整激光位移傳感器的偏轉角和位置，使光屏兩側面的光斑重合。