[發明專利]一種金屬瓦敷設層壓裝置及方法

在審

• 申請號: 201811566551.9
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN111354834A
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 王凱隆;程曉龍;顧鴻揚
• 申請（專利權）人: 漢能移動能源控股集團有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/048;H02S20/25
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 劉林濤

1.一種金屬瓦敷設層壓裝置，設置于真空腔室內，其特征在于，包括：

載臺(1)，其上放置有波浪形的金屬板襯底(2)；

加熱裝置(3)，設置在所述載臺(1)上，所述加熱裝置(3)可直接對所述金屬板襯底(2)加熱；

模壓裝置(4)，設置在所述載臺(1)的上方，其上具有彈性不粘壓頭(41)以及與所述彈性不粘壓頭(41)相連的第一驅動裝置(42)；

其中，所述彈性不粘壓頭(41)與所述金屬板襯底(2)對應設置，所述第一驅動裝置(42)驅動所述彈性不粘壓頭(41)靠近所述金屬板襯底(2)運動，以將封裝件(5)壓制在所述金屬板襯底(2)上。

2.根據權利要求1所述的金屬瓦敷設層壓裝置，其特征在于，所述第一驅動裝置(42)包括固定在所述真空腔室的腔壁上的液壓缸體，以及與所述彈性不粘壓頭(41)相連的液壓缸伸縮軸。

3.根據權利要求1所述的金屬瓦敷設層壓裝置，其特征在于，所述彈性不粘壓頭(41)包括剛性壓頭本體以及包覆在所述剛性壓頭本體上的彈性保護層。

4.根據權利要求3所述的金屬瓦敷設層壓裝置，其特征在于，所述彈性不粘壓頭的形狀與所述金屬板襯底(2)的形狀相同。

5.根據權利要求4所述的金屬瓦敷設層壓裝置，其特征在于，所述彈性不粘壓頭(41)靠近所述金屬板襯底(2)時，所述彈性不粘壓頭(41)的波峰與所述金屬板襯底(2)的波谷相吻合。

6.根據權利要求5所述的金屬瓦敷設層壓裝置，其特征在于，所述載臺(1)包括：

第二驅動裝置(11)；

滾軸帶(12)，套設在所述第二驅動裝置(11)上，其中所述滾軸帶(12)在所述驅動裝置(11)的作用下用以輸送所述金屬板襯底(2)。

7.根據權利要求6所述的金屬瓦敷設層壓裝置，其特征在于，還包括：定位傳感器，用以定位所述彈性不粘壓頭(41)的邊界區域，所述滾軸帶(12)帶動所述金屬板襯底(2)運動至所述定位傳感器位置時，所述滾軸帶(12)停止運動。

8.根據權利要求7所述的金屬瓦敷設層壓裝置，其特征在于，所述加熱裝置(3)設置在所述滾軸帶(12)上，所述加熱裝置(3)連接有溫控系統。

9.根據權利要求1所述的金屬瓦敷設層壓裝置，其特征在于，還包括：抓取裝置(6)，設置在所述載臺(1)的一側，用以將所述封裝件(5)放置到所述金屬板襯底(2)上。

10.根據權利要求9所述的金屬瓦敷設層壓裝置，其特征在于，所述抓取裝置(6)包括：

機臺(61)，與地面固定連接；

伸縮臂(62)，連接在所述機臺(61)上；

電動吸盤(63)，連接在所述伸縮臂(62)上，用以吸附所述封裝件(5)；

其中，所述電動吸盤(63)上吸附的封裝件(5)在所述伸縮臂(62)的作用下，放置到所述金屬板襯底(2)上。

11.一種金屬瓦敷設層壓的方法，其特征在于，采用權利要求1－10中任一所述的金屬瓦敷設層壓裝置，包括如下步驟：

S1：將封裝件(5)與金屬板襯底(2)對應設置；

S2：啟動所述金屬瓦敷設層壓裝置，將金屬瓦敷設層壓裝置的彈性不粘壓頭(41)以第一壓力值壓覆在所述封裝件(5)上，以使所述封裝件(5)貼緊所述金屬板襯底(2)。

12.根據權利要求11所述的方法，其特征在于，在S2步驟前，還包括：啟動加熱裝置，設定第一加熱溫度，對所述金屬板襯底(2)進行加熱操作。

13.根據權利要求12所述的方法，其特征在于，在S2步驟后，還包括如下步驟：啟動加熱裝置，設定第二加熱溫度，其中第二加熱溫度的數值大于所述第一加熱溫度的數值。

14.根據權利要求13所述的方法，其特征在于，在所述“啟動加熱裝置，設定第二加熱溫度，其中第二加熱溫度的數值大于所述第一加熱溫度的數值”步驟后，還包括如下步驟：彈性不粘壓頭(41)以第二壓力值壓覆在所述封裝件(5)上，其中第二壓力值的數值大于第一壓力值的數值。