[發(fā)明專利]基于金屬螺旋微結(jié)構(gòu)的石墨烯太赫茲多頻吸波器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811565173.2
• 申請(qǐng)日: 2018-12-20
• 公開（公告）號(hào): CN109509986A
• 公開（公告）日: 2019-03-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉龍芳;曾芳;韓峰;劉顏回;江晗;柳清伙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廈門大學(xué)
• 主分類號(hào): H01Q17/00
• 分類號(hào): H01Q17/00;G02B5/00
• 代理公司: 廈門南強(qiáng)之路專利事務(wù)所(普通合伙) 35200
• 代理人: 馬應(yīng)森

1.基于金屬螺旋微結(jié)構(gòu)的石墨烯太赫茲多頻吸波器，其特征在于為四層結(jié)構(gòu)器件，在xoy平面內(nèi)具有周期性，單元結(jié)構(gòu)在x和y方向上的周期長度分別記為L_x和L_y，所述四層結(jié)構(gòu)器件從上至下依次為：金屬螺旋微結(jié)構(gòu)層、石墨烯層、介質(zhì)層和金屬襯底層；所述金屬螺旋微結(jié)構(gòu)層由具有阿基米德螺旋形狀結(jié)構(gòu)的金、銀金屬材料組成；所述石墨烯層由單層石墨烯層組成；所述介質(zhì)層由低介電常數(shù)材料組成；金屬層的厚度大于入射波的趨膚深度；所述金屬螺旋微結(jié)構(gòu)層放置在石墨烯層上。

2.如權(quán)利要求1所述基于金屬螺旋微結(jié)構(gòu)的石墨烯太赫茲多頻吸波器，其特征在于所述低介電常數(shù)材料選自SiO₂、Topas、ZrO₂。

3.如權(quán)利要求1所述基于金屬螺旋微結(jié)構(gòu)的石墨烯太赫茲多頻吸波器，其特征在于所述金屬螺旋微結(jié)構(gòu)層和金屬層的材料為金或銀。

4.如權(quán)利要求1所述基于金屬螺旋微結(jié)構(gòu)的石墨烯太赫茲多頻吸波器，其特征在于所述單元結(jié)構(gòu)在x和y方向上的周期長度L_x和L_y為20μm。

5.如權(quán)利要求1所述基于金屬螺旋微結(jié)構(gòu)的石墨烯太赫茲多頻吸波器，其特征在于所述金屬螺旋微結(jié)構(gòu)層的厚度h₁為1μm，石墨烯層的厚度h₂為0.334nm，介質(zhì)層的厚度h₃為60μm，金屬層的厚度h₄為0.5μm。

6.如權(quán)利要求1所述基于金屬螺旋微結(jié)構(gòu)的石墨烯太赫茲多頻吸波器，其特征在于所述阿基米德螺旋形狀結(jié)構(gòu)的尺寸參數(shù)為：圈數(shù)n₁為3，寬度w為0.9μm，螺距g為2.7μm。

7.如權(quán)利要求1所述基于金屬螺旋微結(jié)構(gòu)的石墨烯太赫茲多頻吸波器，其特征在于通過合理設(shè)置幾何尺寸與材料參數(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)任意多個(gè)太赫茲頻段的大于90％吸收率。

8.如權(quán)利要求1所述基于金屬螺旋微結(jié)構(gòu)的石墨烯太赫茲多頻吸波器，其特征在于為金屬圓環(huán)形、圓盤形、矩形、橢圓形微結(jié)構(gòu)。