[發(fā)明專利]一種檢測裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811564575.0
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號(hào): CN109738343A
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 亓宏博
• 申請（專利權(quán)）人: 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司
• 主分類號(hào): G01N15/06
• 分類號(hào): G01N15/06;F28D7/10
• 代理公司: 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 趙志遠(yuǎn)

本發(fā)明提供一種檢測裝置，涉及基板玻璃制造領(lǐng)域。檢測裝置用于檢測馬弗爐內(nèi)的氣體潔凈度，其包括探測管和冷卻管，探測管的一端用于伸入馬弗爐內(nèi)以采集馬弗爐內(nèi)的氣體，探測管的另一端連接于激光塵埃粒子檢測儀，激光塵埃粒子檢測儀用于檢測探測管采集的氣體的塵埃粒子數(shù)，冷卻管套設(shè)于探測管，冷卻管的內(nèi)壁與探測管的外壁之間形成通道，通道用于供冷卻水流通以冷卻流經(jīng)探測管內(nèi)的氣體。本檢測裝置能夠?qū)︸R弗爐內(nèi)熱態(tài)基板玻璃所處的氣體環(huán)境進(jìn)行潔凈度檢測以控制或者減少后續(xù)冷端加工過程中基板玻璃表面的塵埃粒子數(shù)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及基板玻璃制造領(lǐng)域，具體而言，涉及一種檢測裝置。

背景技術(shù)

在液晶顯示屏用基板玻璃(TFT－LCD基板玻璃)制造過程中，利用馬弗爐將1600℃的熔融態(tài)玻璃液通過不同設(shè)置的層級(jí)及層級(jí)功能溢流下拉成一定尺寸的基板玻璃。馬弗爐內(nèi)溫度高達(dá)1000℃，熱態(tài)下的基板玻璃表面的塵埃會(huì)影響后續(xù)冷端加工，塵埃粒子數(shù)為后續(xù)冷端加工過程中的一個(gè)不良指標(biāo)，因此需要對馬弗爐內(nèi)基板玻璃所處環(huán)境的空氣潔凈度進(jìn)行檢測以控制或者減少后續(xù)冷端加工過程中基板玻璃表面的塵埃粒子數(shù)量。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的包括提供一種檢測裝置，其能夠?qū)︸R弗爐內(nèi)熱態(tài)基板玻璃所處的氣體環(huán)境進(jìn)行潔凈度檢測以控制或者減少后續(xù)冷端加工過程中基板玻璃表面的塵埃粒子數(shù)量。

本發(fā)明的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種檢測裝置，用于檢測馬弗爐內(nèi)的氣體潔凈度，其包括探測管和冷卻管，探測管的一端用于伸入馬弗爐內(nèi)以采集馬弗爐內(nèi)的氣體，探測管的另一端連接于激光塵埃粒子檢測儀，激光塵埃粒子檢測儀用于檢測探測管采集的氣體的塵埃粒子數(shù)，冷卻管套設(shè)于探測管，冷卻管的內(nèi)壁與探測管的外壁之間形成通道，通道用于供冷卻水流通以冷卻流經(jīng)探測管內(nèi)的氣體。

進(jìn)一步地，上述探測管包括采集段和引流段，引流段的一端連接于激光塵埃粒子檢測儀，引流段的另一端連接于采集段的一端，且引流段與采集段之間的夾角為鈍角，采集段遠(yuǎn)離引流段的一端用于伸入馬弗爐內(nèi)以采集馬弗爐內(nèi)的氣體。

進(jìn)一步地，上述采集段與引流段之間的夾角為120°。

進(jìn)一步地，上述采集段長度為200mm。

進(jìn)一步地，上述采集段與引流段圓弧過渡。

進(jìn)一步地，上述冷卻管套設(shè)于引流段，冷卻管的內(nèi)壁與引流段的外壁之間形成通道。

進(jìn)一步地，上述引流段遠(yuǎn)離采集段的一端設(shè)置有連接件，激光塵埃粒子檢測儀通過軟管連接于連接件。

進(jìn)一步地，上述冷卻管兩端封口且周壁設(shè)置有用于供冷卻水進(jìn)入的進(jìn)水口以及用于供冷卻水流出的出水口。

進(jìn)一步地，上述檢測裝置還包括進(jìn)水管和出水管，進(jìn)水管連接于進(jìn)水口，出水管連接于出水口。

進(jìn)一步地，上述探測管總長度為1800mm，冷卻管總長度1300mm。

本發(fā)明實(shí)施例的有益效果包括：檢測裝置用于檢測馬弗爐內(nèi)的氣體潔凈度，其包括探測管和冷卻管，探測管的一端用于伸入馬弗爐內(nèi)以采集馬弗爐內(nèi)的氣體，探測管的另一端連接于激光塵埃粒子檢測儀，激光塵埃粒子檢測儀用于檢測探測管采集的氣體的塵埃粒子數(shù)，冷卻管套設(shè)于探測管，冷卻管的內(nèi)壁與探測管的外壁之間形成通道，通道用于供冷卻水流通以冷卻流經(jīng)探測管內(nèi)的氣體。本檢測裝置能夠?qū)︸R弗爐內(nèi)熱態(tài)基板玻璃所處的氣體環(huán)境進(jìn)行潔凈度檢測，進(jìn)而減少后續(xù)冷端加工中出現(xiàn)的塵埃顆粒數(shù)量。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本發(fā)明的某些實(shí)施例，因此不應(yīng)被看作是對范圍的限定，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。