[發明專利]一種半導體級擠出成型高純氧化鋁陶瓷產品的制備方法在審
| 申請號: | 201811560925.6 | 申請日: | 2018-12-19 |
| 公開(公告)號: | CN109574635A | 公開(公告)日: | 2019-04-05 |
| 發明(設計)人: | 占克文;馬玉琦;高凱;楊盼東;姚相民 | 申請(專利權)人: | 杭州大和江東新材料科技有限公司 |
| 主分類號: | C04B35/10 | 分類號: | C04B35/10;C04B35/622 |
| 代理公司: | 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109 | 代理人: | 尉偉敏 |
| 地址: | 311200 浙江省杭州市*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 擠出成型 泥料 高純氧化鋁陶瓷 氧化鋁陶瓷 半導體級 制備 陳腐 高純度氧化鋁 半導體行業 半導體制品 表面活性劑 真空煉泥機 后處理 成品入庫 傳統陶瓷 工藝生產 陶瓷領域 真空煉泥 分散劑 恒定的 潤滑劑 粘結劑 溶劑 放入 粉料 煉泥 | ||
1.一種半導體級擠出成型高純氧化鋁陶瓷產品的制備方法,其特征在于,所述的制備方法為以下步驟:
(1)將高純度氧化鋁粉料、粘結劑、表面活性劑先混合攪拌10~15分鐘,再依次倒入溶劑、潤滑劑、分散劑攪拌20~30分鐘制成泥料;
(2)將攪拌好的泥料放入真空煉泥機中攪拌煉泥,真空度達到-0.09Mpa~-0.1Mpa的狀態下煉泥1~3小時;
(3)真空煉泥后的泥料放置于恒定的溫濕度,陳腐24~48小時;
(4)將陳腐后的泥料擠出成型,再經過后處理,作為成品入庫。
2.根據權利要求1所述的一種半導體級擠出成型高純氧化鋁陶瓷產品的制備方法,其特征在于,步驟(1)中以重量份計,高純度氧化鋁粉料70~80,粘結劑1~5,表面活性劑0.1~2,溶劑10~18,潤滑劑1~6,分散劑0.1~2。
3.根據權利要求1或2所述的一種半導體級擠出成型高純氧化鋁陶瓷產品的制備方法,其特征在于,步驟(1)中所述的高純度氧化鋁粉料的純度為99.7%~99.999%。
4.根據權利要求3所述的一種半導體級擠出成型高純氧化鋁陶瓷產品的制備方法,其特征在于,氧化鋁粉料按照不同粒徑的重量組分為:粒徑大于0.6um的5%~15%,粒徑為0.2um~0.6um的60%~80%,;粒徑小于0.2um的15%~25%。
5.根據權利要求1或2或3所述的一種半導體級擠出成型高純氧化鋁陶瓷產品的制備方法,其特征在于,所述的粘結劑選自甲基纖維素、羥丙基纖維素中的一種或幾種。
6.根據權利要求1或2或3所述的一種半導體級擠出成型高純氧化鋁陶瓷產品的制備方法,其特征在于,所述的表面活性劑選自硬脂酸、月桂酸、棕櫚酸中的一種或幾種。
7.根據權利要求1或2或3所述的一種半導體級擠出成型高純氧化鋁陶瓷產品的制備方法,其特征在于,所述的溶劑為純水, PH值6~7,電導率≤10us/cm。
8.根據權利要求1或2或3所述的一種半導體級擠出成型高純氧化鋁陶瓷產品的制備方法,其特征在于,所述的潤滑劑選自桐油、聚阿爾法烯烴中一種或幾種。
9.根據權利要求1或2或3所述的一種半導體級擠出成型高純氧化鋁陶瓷產品的制備方法,其特征在于,所述的分散劑選自脂肪酸聚乙二醇酯、聚丙烯酰胺、古爾膠中的一種或幾種。
10.根據權利要求1所述的一種半導體級擠出成型高純氧化鋁陶瓷產品的制備方法,其特征在于,步驟(3)所述恒定的溫濕度,其溫度范圍為15℃~25℃,濕度范圍為70%~80%。
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