[發明專利]基于懸檐尺寸調整有效機電耦合系數的裝置

在審

• 申請號: 201811560329.8
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN111355470A
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 楊清瑞;龐慰;張孟倫
• 申請（專利權）人: 天津大學;諾思（天津）微系統有限責任公司
• 主分類號: H03H9/52
• 分類號: H03H9/52;H03H9/02
• 代理公司: 北京金誠同達律師事務所 11651
• 代理人: 湯雄軍

1.一種體聲波諧振器，包括：

基底；

聲學鏡；

底電極，設置在基底上方；

頂電極；和

壓電層，設置在底電極上方以及底電極與頂電極之間，

其中：

所述聲學鏡、底電極、壓電層和頂電極在諧振器厚度方向上的重疊區域構成諧振器的有效區域；

所述頂電極的邊緣形成檐結構，所述檐結構與壓電層之間具有介質，所述檐結構具有高度和寬度；且

所述檐結構沿諧振器的厚度方向的投影落入所述聲學鏡的區域內。

2.根據權利要求1所述的諧振器，其中：

所述介質包括氮化鋁、二氧化硅、氮化硅或者空氣。

3.將根據權利要求1所述的諧振器，其中：

所述檐結構的高度范圍在500A到4000A。

4.根據權利要求1-3中任一項所述的諧振器，其中：

所述檐結構的寬度范圍在0.5um到7um。

5.根據權利要求1所述的諧振器，其中：

所述諧振器的有效機電耦合系數小于無檐結構的對應諧振器的有效機電耦合系數。

6.一種調整根據權利要求1-4中任一項的體聲波諧振器的有效機電耦合系數的方法，包括步驟：

通過調整所述高度和/或所述寬度，和/或通過選擇具有不同介電常數的介質，調節所述有效機電耦合系數。

7.根據權利要求6所述的方法，其中：

在保持所述高度不變的情況下，通過提高所述寬度降低所述有效機電耦合系數，或者通過降低所述寬度提高所述有效機電耦合系數。

8.根據權利要求6所述的方法，其中：

在保持所述寬度不變的情況下，通過提高所述高度提高所述有效機電耦合系數，或者通過降低所述高度降低所述有效機電耦合系數。

9.一種濾波器，包括：

串聯支路，包括多個串聯諧振器；

多個并聯支路，每個并聯支路包括并聯諧振器，

其中：

所述并聯諧振器和所述多個串聯諧振器中的至少一個諧振器的有效機電耦合系數不同于其他諧振器的有效機電耦合系數，所述至少一個諧振器為根據權利要求1-4中任一項所述的體聲波諧振器。

10.根據權利要求9所述的濾波器，其中：

所述并聯諧振器和所述多個串聯諧振器中的至少兩個諧振器為根據權利要求1-4中任一項所述的諧振器，且所述至少兩個諧振器基于所述寬度和/或所述高度的不同，和/或所述介質的不同，而具有彼此不同的有效機電耦合系數。

11.一種電子設備，包括根據權利要求9或10所述的濾波器或者根據權利要求1-4中任一項所述的體聲波諧振器。