[發明專利]彈性波裝置有效
| 申請號： | 201811559899.5 | 申請日： | 2018-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN110034741B | 公開（公告）日： | 2023-07-21 |
| 發明（設計）人： | 福田大輔 | 申請（專利權）人： | 株式會社村田制作所 |
| 主分類號： | H03H9/02 | 分類號： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 樸云龍 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 彈性 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種彈性波裝置，具備：
基板，在至少一部分具有壓電性；
IDT電極，設置在所述基板上；
間隔層，設置在所述基板上，且包圍所述IDT電極；
覆蓋構件，設置在所述間隔層上，與所述IDT電極分離，且具有所述間隔層側的第一主面和與所述第一主面對置的第二主面；
保護層，設置在所述覆蓋構件上，具有與所述第二主面相接的第三主面、與所述第三主面對置的第四主面、以及與所述第四主面相連的側面；以及
外部連接電極，與所述IDT電極電連接，
所述外部連接電極包含貫通所述間隔層、所述覆蓋構件以及所述保護層的貫通過孔，
在所述基板的厚度方向上的、所述保護層的至少包含與接觸于所述覆蓋構件的部分相反側的部分的區域中，隨著在所述厚度方向上從所述基板遠離，在與所述厚度方向正交的方向上，所述保護層的所述側面與所述基板的外緣之間的距離變長。
2.根據權利要求1所述的彈性波裝置，其中，
所述保護層的所述側面遍及所述保護層的全周設置。
3.根據權利要求1或2所述的彈性波裝置，其中，
還具備：圖案層，設置在所述保護層的內部。
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