[發(fā)明專利]一種基于SOI的全差分電容式MEMS加速度計(jì)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811558889.X
• 申請(qǐng)日: 2018-12-19
• 公開（公告）號(hào): CN109490576A
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李紹榮;郭小偉;秦茂森;楊承
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都力創(chuàng)云科技有限公司
• 主分類號(hào): G01P15/125
• 分類號(hào): G01P15/125
• 代理公司: 成都正華專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51229
• 代理人: 李林合;李蕊

1.一種基于SOI的全差分電容式MEMS加速度計(jì)，其特征在于，包括

SOI基片；

敏感結(jié)構(gòu)，設(shè)置有可動(dòng)梳齒；

八個(gè)固定錨，均設(shè)置有固定檢測(cè)梳齒；其中四個(gè)固定錨位于敏感結(jié)構(gòu)的外側(cè)，另外四個(gè)固定錨位于敏感結(jié)構(gòu)的內(nèi)側(cè)；固定錨上的固定檢測(cè)梳齒與敏感結(jié)構(gòu)上的相對(duì)應(yīng)的可動(dòng)梳齒組成差分電容結(jié)構(gòu)；

兩組對(duì)稱分布的彈簧梁，將敏感結(jié)構(gòu)與支持錨點(diǎn)相連；

四個(gè)支撐錨點(diǎn)，對(duì)稱分布于加速度計(jì)機(jī)械結(jié)構(gòu)的四個(gè)端點(diǎn)處，固定在SOI基片上，使敏感結(jié)構(gòu)懸空于SOI基片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于SOI的全差分電容式MEMS加速度計(jì)，其特征在于，所述的敏感結(jié)構(gòu)有兩個(gè)彼此電隔離的U型質(zhì)量塊組成。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于SOI的全差分電容式MEMS加速度計(jì)，其特征在于，構(gòu)成敏感結(jié)構(gòu)的兩個(gè)U型質(zhì)量塊由鎳制成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于SOI的全差分電容式MEMS加速度計(jì)，其特征在于，所述彈簧梁為π型梁。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于SOI的全差分電容式MEMS加速度計(jì)，其特征在于，所述支撐錨點(diǎn)中嵌入止動(dòng)塊結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于SOI的全差分電容式MEMS加速度計(jì)，其特征在于，所述固定梳齒與可動(dòng)梳齒構(gòu)成定齒偏置結(jié)構(gòu)。