[發明專利]利用印章轉移制備碳納米管導電薄膜的方法及高靈敏度應變傳感器在審
| 申請號： | 201811558743.5 | 申請日： | 2018-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN109817383A | 公開（公告）日： | 2019-05-28 |
| 發明（設計）人： | 桂許春;張子安;梁秉豪;湯子康 | 申請（專利權）人： | 中山大學 |
| 主分類號： | H01B13/00 | 分類號： | H01B13/00;G01B7/16 |
| 代理公司： | 廣州新諾專利商標事務所有限公司 44100 | 代理人： | 張玲春 |
| 地址： | 510275 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 應變傳感器 高靈敏度 碳納米管 制備碳納米 導電薄膜 印章 碳納米管薄膜 可控的 柔性透明材料 透明導電薄膜 電導率 傳感器領域 電子器件 復合結構 光透過率 新型柔性 透明 低成本 轉移法 電極 基底 制備 薄膜 清潔 應用 | ||
1.一種碳納米管導電薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
1)采用化學氣相沉積法制備碳納米管塊體；
2)以碳納米管塊體作為印章，在柔性透明基底上按壓印章；
3)移走印章，在柔性透明基底上得到碳納米管導電薄膜；
4)用紫外臭氧方法對碳納米管導電薄膜進行表面處理。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟1)中，所述碳納米管塊體的厚度為：1-100mm。
3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟2)中，所述柔性透明基底包括ECOFLEX，PDMS，PVA；所述柔性透明基底的厚度為50-1000μm。
4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟2)中，所述按壓印章的壓力為1kPa-10MPa，按壓時間為1s-10min。
5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟4)中，所述紫外臭氧的處理時間為5-180min。
6.權利要求1-5中任一項所述的碳納米管導電薄膜的制備方法所制備得到的碳納米管導電薄膜；該碳納米管導電薄膜的厚度、光透過率和電導率是均勻、可控的；其厚度范圍是50nm-5μm；所述光透過率的范圍是80％-40％(550nm)；所述方塊電阻是1000-5000歐/□。
7.一種基于權利要求6所述的碳納米管導電薄膜的高靈敏度應變傳感器，其特征在于：是在印章轉移制備的碳納米管導電薄膜上鍍上金屬電極形成的，是碳納米管和柔性透明基底的復合結構。
8.根據權利要求7所述的高靈敏度應變傳感器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
1)采用電子束蒸鍍或噴涂的方法在碳納米管導電薄膜的兩端制備金屬電極；
2)在碳納米管導電薄膜表面覆蓋一層柔性透明薄膜，得到應變傳感器。
9.根據權利要求8所述的高靈敏度應變傳感器，其特征在于：所述金屬電極的電極材料包括金、銀和銅；所述覆蓋一層柔性透明薄膜包括ECOFLEX，PDMS，PVA；厚度為50-1000μm。
10.權利要求8或9所述的高靈敏度應變傳感器在電子皮膚，運動探測和健康監測等領域的應用。
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