[發明專利]一種納米金剛石復合涂層刀具硅片制備方法

在審

• 申請號: 201811558521.3
• 申請日: 2018-12-19
• 公開（公告）號: CN109698116A
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 袁洋;殷世春
• 申請（專利權）人: 江蘇沃德賽模具科技有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 宜興市天宇知識產權事務所(普通合伙) 32208
• 代理人: 周舟

1.一種納米金剛石復合涂層刀具硅片制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、將硬質合金材質的刀具放入腐蝕性的液體中進行化學處理，形成穩定的化學物質；

步驟2、將刀具放置于CVD設備反應室內，加熱熱絲功率，使刀具周圍溫度為1600℃；

步驟3、在CVD設備反應室內接入氣體流量為100-200ml的氫氣和50ml的甲烷混合氣體，讓CVD設備內反應氣壓為5.0-0.125KPa；

步驟4、經過15分鐘形核與4小時的生長過程，在刀具表面沉積一層納米金剛石薄膜。

2.根據權利要求1所述的一種納米金剛石復合涂層刀具硅片制備方法，其特征在于，所述步驟1中刀具放入腐蝕性的液體中進行化學處理具體為：

步驟1-1工作人員握住刀具的一端，將刀具覆膜部分的邊緣用筆標注出來，便于作為參照；

步驟1-2將刀具覆膜部分放入腐蝕性的液體中，深度為標注位置。

3.根據權利要求1所述的一種納米金剛石復合涂層刀具硅片制備方法，其特征在于，所述步驟2中啟動加熱熱絲功率具體為：

步驟2-1將處理過的刀具放入CVD設備反應室中，

步驟2-2將加熱溫度設置至1600℃。

4.根據權利要求1所述的一種納米金剛石復合涂層刀具硅片制備方法，其特征在于，所述步驟3中接入氣體具體為：

步驟3-1將氣體流量為100-200ml的氫氣和50ml的甲烷進行混合；

步驟3-2將混合后的氣體導入CVD設備反應室內；

步驟3-3通過控制氣體的流量從而調節反應氣壓。

5.根據權利要求1所述的一種納米金剛石復合涂層刀具硅片制備方法，其特征在于，所述步驟4中經過15分鐘形核與4小時的生長過程具體為：

步驟4-1通過加熱熱絲激發氣體反應，形成氫原子與碳原子；

步驟4-2通過反應氣壓升高，氫原子與碳原子平均自由移動，原子間的碰撞自由程度減少，形成納米金剛石復合涂層。