[發明專利]基板檢查系統及檢查方法、電子設備制造系統及制造方法

有效

• 申請號: 201811558500.1
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN110660693B
• 公開（公告）日: 2023-05-12
• 發明（設計）人: 住川謙
• 申請（專利權）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 張寶榮

1.一種基板檢查系統，用于對在容器內在第一方向上搬送的基板進行檢查，其特征在于，包含：

基板支承機構，該基板支承機構設置在所述容器內，用于支承基板；

基板位置信息取得單元，該基板位置信息取得單元在所述容器內偏向所述第一方向的上游側即以所述容器的中央為基準偏向所述容器的基板搬入口側地設置，且用于取得基板位置信息，所述基板位置信息包括被搬入所述容器內的所述基板的、與所述第一方向交叉且與所述基板支承機構的基板支承面平行的第二方向上的位置信息以及與將第三方向作為軸的旋轉方向上的所述基板的位置相關的信息，所述第三方向與所述第一方向及所述第二方向交叉；

基板檢查單元，該基板檢查單元在所述容器內偏向所述第一方向的下游側即以所述容器的中央為基準偏向所述容器的基板搬出口側地設置，且用于檢查所述基板的沿著所述第一方向的邊部處的缺損；以及

驅動單元，該驅動單元基于所述基板位置信息，驅動所述基板支承機構和所述基板檢查單元中的至少一個，以便調整被搬送的所述基板與所述基板檢查單元的第二方向上的相對位置。

2.根據權利要求1所述的基板檢查系統，其特征在于，

所述驅動單元通過基于所述基板位置信息來驅動所述基板支承機構和所述基板檢查單元中的至少一個，使由所述基板檢查單元進行檢查的檢查區域在所述容器內移動。

3.根據權利要求2所述的基板檢查系統，其特征在于，

所述驅動單元基于所述基板位置信息來驅動所述基板檢查單元。

4.根據權利要求1所述的基板檢查系統，其特征在于，

所述容器包含從所述第一方向的上游側搬入所述基板的基板搬入口、以及將所述基板向所述第一方向的下游側搬出的基板搬出口。

5.根據權利要求4所述的基板檢查系統，其特征在于，

所述基板位置信息取得單元以所述容器的所述第一方向上的中央部為基準設置在所述基板搬入口側，所述基板檢查單元以所述中央部為基準設置在所述基板搬出口側。

6.根據權利要求1所述的基板檢查系統，其特征在于，

所述基板位置信息取得單元設置成能夠在所述基板被所述基板支承機構支承的狀態下取得所述基板位置信息。

7.根據權利要求1所述的基板檢查系統，其特征在于，

所述基板位置信息取得單元是取得與所述基板的所述第二方向上的邊緣的位置相關的信息的單元。

8.根據權利要求7所述的基板檢查系統，其特征在于，

所述基板位置信息取得單元包含相機，

基于由所述相機取得的圖像，取得與所述基板的所述第二方向上的邊緣的位置相關的信息。

9.根據權利要求3所述的基板檢查系統，其特征在于，

所述驅動單元基于由所述基板位置信息取得單元取得的所述基板位置信息，調整所述基板檢查單元的位置。

10.根據權利要求3所述的基板檢查系統，其特征在于，

所述驅動單元基于由所述基板位置信息取得單元取得的所述基板位置信息，調整所述基板檢查單元的角度。

11.根據權利要求1所述的基板檢查系統，其特征在于，

所述驅動單元基于所述基板位置信息以及所述基板向第一方向的搬送速度，連續或斷續地驅動所述基板檢查單元。