[發明專利]一種高性能體硅MEMS電容式加速度計在審
| 申請號： | 201811557183.1 | 申請日： | 2018-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN109507452A | 公開（公告）日： | 2019-03-22 |
| 發明（設計）人： | 郭小偉;李紹榮;秦茂森;楊承 | 申請（專利權）人： | 成都力創云科技有限公司 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 成都正華專利代理事務所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 李林合;李蕊 |
| 地址： | 610054 四川省成都市天*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電容式加速度計 體硅 定齒 硅梁 浮動 敏感質量元件 電極結構 加速度計 檢測電容 偏置結構 移動電極 固定錨 體加工 折疊梁 分辨率 齒樞 動齒 減小 零漂 偏置 敏感 | ||
【權利要求書】：
1.一種高性能體硅MEMS電容式加速度計的微機械結構，包括敏感質量塊、用于支撐質量塊的固定錨、固定齒和基片。其中，敏感質量塊由折疊梁及動齒齒樞組成，動齒齒樞向兩側延伸，形成四組可動梳齒；敏感質量塊上的四組動齒作為可變電容的活動電極，與基片上固定的四組固定梳齒交錯配置，構成形成差動電容，其特征在于每個動齒與其相鄰的兩個定齒距離不等。
2.根據權利要求1所述的一種高性能體硅MEMS電容式加速度計的微機械結構，其特征在于，動齒與相鄰兩個定齒之間的寬窄間隙比為5:1。
3.根據權利要求1所述的一種高性能體硅MEMS電容式加速度計的微機械結構，其特征在于，用于支撐質量塊的固定錨位于敏感方向的中間位置，通過一長浮動硅梁將折疊梁及敏感質量塊連接到固定錨，從而形成長浮動硅梁移動電極。
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