[發明專利]一種激光誘導空泡雙面清洗超薄零件的裝置與方法

在審

• 申請號: 201811556736.1
• 申請日: 2018-12-19
• 公開（公告）號: CN109570150A
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 劉懷樂;任旭東;張洪峰;胡文景;焦加飛
• 申請（專利權）人: 江蘇大學
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B23K26/064;B23K26/067;B23K101/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種激光誘導空泡雙面清洗超薄零件的裝置，包括超薄零件（109）和控制器（106），其特征在于，所述超薄零件（109）固定安裝在玻璃容器（108）內，所述玻璃容器（108）設置在工作臺上，所述玻璃容器（108）在所述工作臺的作用下能夠在所述超薄零件（109）所在的平面上左右移動；所述玻璃容器（108）的兩側對稱設有第一振鏡（107）和第二振鏡（105），所述控制器（106）用來控制所述第一振鏡（107）和所述第二振鏡（105）的擺動位置，所述第一振鏡（107）反射的光束和所述第二振鏡（105）反射的光束對稱入射到所述超薄零件（109）同一位置點的兩側。

2.根據權利要求1所述的一種激光誘導空泡雙面清洗超薄零件的裝置，其特征在于，所述玻璃容器（108）內盛放的介質為水。

3.根據權利要求1所述的一種激光誘導空泡雙面清洗超薄零件的裝置，其特征在于，激光器（101）產生的主激光（201）通過第一反射鏡（102）反射給分光鏡（103），分光鏡（103）分出的第一激光束（202）經過第一振鏡（107）入射到超薄零件的一側，分光鏡（103）分出的第二激光束（203）通過第二反光鏡（104）反射到第二振鏡（105）后入射到超薄零件的另一側。

4.一種利用權利要求3所述的激光誘導空泡雙面清洗超薄零件的裝置進行激光清洗的方法，包括如下步驟：

設置激光器，通過分光鏡，將激光分成等量的兩個光束；其中一個光束經過所述第一振鏡反射后能夠入射到放置在水中超薄零件其中一側的表面上，另外一個光束經過所述第二振鏡反射后能夠入射到放置在水中超薄零件另外一側的表面上；

控制器分別控制所述第一振鏡及所述第二振鏡的擺動位置，實現第一振鏡反射的光束和所述第二振鏡反射的光束對稱入射到所述超薄零件同一位置點的兩側；

超薄零件同一位置點的兩側誘導產生空泡，繼而產生沖擊波和水射流，實現對超薄零件的兩側表面的同時清洗，抵消沖擊波產生的應力變形；

D.設置控制器，通過調節第一振鏡及第二振鏡的擺動位置，實現對超薄零件同一位置點兩側加工激光束從下端到上端的路徑掃描，然后工作臺在所述超薄零件所在的平面上發生一個位移的平面移動，超薄零件兩側的加工激光束由上端掃描至下端，工作臺在所述超薄零件所在的平面上繼續發生一個位移的平面移動，如此循環，直至全部完成對超薄零件兩側面的激光加工，激光器（101）和控制器（106）停止工作。

5.根據權利要求4所述的一種利用權利要求3所述的激光誘導空泡雙面清洗超薄零件的裝置進行激光清洗的方法，其特征在于，工作臺在所述超薄零件所在的平面上發生一個位移的平面移動的距離為0.5mm。