[發明專利]納米涂層及其制備方法

在審

• 申請號: 201811549087.2
• 申請日: 2018-12-18
• 公開（公告）號: CN109468615A
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 董兵海;梁子輝;王世敏;程凡;趙麗;萬麗;王二靜;李靜
• 申請（專利權）人: 湖北大學
• 主分類號: C23C16/40
• 分類號: C23C16/40;C23C16/50;C23C16/455;B82Y40/00
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 王術蘭

本發明涉及一種納米涂層及其制備方法，該納米涂層的制備方法包括：利用原子層沉積技術在基材表面的納米二氧化硅涂層上沉積三甲基鋁薄膜，其中，所述納米二氧化硅涂層通過等離子體增強化學氣相沉積法制備得到。上述方法通過采用等離子增強化學沉積法單獨涂覆形成納米二氧化硅，進而使得納米涂層能夠在基材表面的附著力強，再對穩定的納米二氧化硅涂層表面原子層沉積技術沉積三甲基鋁薄膜。而相對于納米二氧化硅涂層，三甲基鋁薄膜與納米二氧化硅涂層表面結合后形成的納米涂層表面水接觸角的變大，并且通過控制三甲基鋁薄膜沉積的厚度，可以控制納米涂層表面水接觸角的大小，進而可實現納米涂層從超親水性到超疏水性的控制。

技術領域

本發明涉及防水材料技術領域，具體而言，涉及一種納米涂層及其制備方法。

背景技術

隨著社會的快速發展，工業發達，使得人們的生活越來越好。然而，在這些工業迅速發展的同時，也給人們生活帶來了不可忽視的負面影響。尤其是現在存在的各種污染隨處可見，其中空氣中越來越多的粉塵顯得格外突出。污染物經常吸附一些暴露在空氣中的建筑玻璃墻面經常需要需要人工去清理，這不僅僅會浪費大量的人力和財力，而且會給清潔工人們帶來一定的危險。此時，如果能在這些暴露在空氣中的物體表面加以一些自清潔涂層是非常有必要的。自清潔涂層主要是通過涂層表面的親水性或疏水性來達到的。但現有技術中制備親水性或疏水性涂層時，其附著力較差，且親水性或疏水性較固定，不能實現對涂層表面水接觸角大小的有效控制。

發明內容

本發明的目的之一在于提供一種納米涂層及其制備方法，以使得制備該納米涂層使得其具有強附著力，且制備過程可有效控制納米涂層表面水接觸角大小。

本發明解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。

本發明提供了一種納米涂層的制備方法，其包括：

利用原子層沉積技術在基材表面的納米二氧化硅涂層上沉積三甲基鋁薄膜，其中，所述納米二氧化硅涂層通過等離子體增強化學氣相沉積法制備得到。

本發明還提供了一種納米涂層，其由上述納米涂層的制備方法制備得到。

通過采用等離子增強化學沉積法單獨涂覆形成納米二氧化硅，進而使得納米涂層能夠在基材表面的附著力強，再對穩定的納米二氧化硅涂層表面原子層沉積技術沉積三甲基鋁薄膜。而相對于納米二氧化硅涂層，三甲基鋁薄膜與納米二氧化硅涂層表面結合后形成的納米涂層表面水接觸角的變大，并且通過控制三甲基鋁薄膜沉積的厚度，可以控制納米涂層表面水接觸角的大小，進而可實現納米涂層從超親水性到超疏水性的控制。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施方式的技術方案，下面將對實施方式中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應當理解，以下附圖僅示出了本發明的某些實施例，因此不應被看作是對范圍的限定，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他相關的附圖。

圖1是對比例2和本發明實施例3-6的納米涂層表面水接觸角曲線圖；

圖2是本發明實施例3的納米涂層表面水接觸角圖譜；

圖3是本發明實施例4的納米涂層表面水接觸角圖譜；

圖4是本發明實施例5的納米涂層表面水接觸角圖譜；

圖5是本發明實施例6的納米涂層表面水接觸角圖譜。

具體實施方式

為使本發明實施方式的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將對本發明實施方式中的技術方案進行清楚、完整地描述。實施方式或實施例中未注明具體條件者，按照常規條件或制造商建議的條件進行。所用試劑或儀器未注明生產廠商者，均為可以通過市售購買獲得的常規產品。

下面對本發明實施方式的涉及的納米涂層及其制備方法進行具體說明。