[發(fā)明專利]一種適用于硬質(zhì)合金刀片的復(fù)合涂層及其制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811545743.1
• 申請日: 2018-12-17
• 公開（公告）號: CN109468589A
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 毛昌海
• 申請（專利權(quán)）人: 艾瑞森表面技術(shù)（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: C23C14/06
• 分類號: C23C14/06;C23C14/08;C23C14/34
• 代理公司: 蘇州華博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32232
• 代理人: 蘭仙梅

1.一種適用于硬質(zhì)合金刀片的復(fù)合涂層，其特征在于，包括沉積在刀片基體上的Ti_1-x-yAl_xSi_yN底層和以Ti_1-x-yAl_xSi_yN/V₂O₅為調(diào)制周期的周期性面層，其中，0.3≤x≤0.5，0≤y≤0.2且0.3≤x+y≤0.5；所述Ti_1-x-yAl_xSi_yN為面心立方結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于硬質(zhì)合金刀片的復(fù)合涂層，其特征在于：所述Ti_1-x-yAl_xSi_yN底層的厚度為0.5μm～5μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于硬質(zhì)合金刀片的復(fù)合涂層，其特征在于：所述Ti_1-x-yAl_xSi_yN/V₂O₅面層的厚度為1μm～8μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的適用于硬質(zhì)合金刀片的復(fù)合涂層，其特征在于：所述Ti_1-x-yAl_xSi_yN底層和所述Ti_1-x-yAl_xSi_yN/V₂O₅面層的厚度總和為2.0μm～10μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的適用于硬質(zhì)合金刀片的復(fù)合涂層，其特征在于：在所述Ti_1-x-yAl_xSi_yN/V₂O₅面層中，所述Ti_1-x-yAl_xSi_yN層的單層厚度為20nm～100nm，所述V₂O₅層的單層厚度為50nm～100nm。

6.一種適用于硬質(zhì)合金刀片的復(fù)合涂層的制備方法，該制備方法包括以下步驟：首先在刀片基體上利用TiAlSi靶沉積Ti_1-x-yAl_xSi_yN底層，再在所述Ti_1-x-yAl_xSi_yN底層上沉積以“Ti_1-x-yAl_xSi_yN/V₂O₅”為一個調(diào)制周期的多周期涂層，重復(fù)多次，直至所述復(fù)合涂層的總厚度達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求。