[發(fā)明專利]一種固定流導(dǎo)法流量計測量微型真空泵抽速的裝置及方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201811544420.0
• 申請日: 2018-12-17
• 公開（公告）號: CN109854494A
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 成永軍;郭美如;習(xí)振華;王永軍;裴曉強(qiáng);董猛;趙瀾;盛學(xué)民;汪寧
• 申請（專利權(quán)）人: 蘭州空間技術(shù)物理研究所
• 主分類號: F04B51/00
• 分類號: F04B51/00;F04B37/14
• 代理公司: 北京理工大學(xué)專利中心 11120
• 代理人: 代麗;仇蕾安

1.一種固定流導(dǎo)法流量計測量微型真空泵抽速的裝置，其特征在于，包括：氣瓶(1)、第一抽氣系統(tǒng)(3)、穩(wěn)壓室(7)、固定流導(dǎo)小孔(9)、測試罩(12)、第二抽氣系統(tǒng)(16)、第一真空計(6)和第二真空計(11)，外圍設(shè)備為待測微型真空泵(14)；其中，測試罩(12)為沒有上下測量室的測試罩；

其中，氣瓶(1)通過第一閥門(2)、第三閥門(5)與穩(wěn)壓室(7)相連；第一抽氣系統(tǒng)(3)通過第二閥門(4)、第三閥門(5)與穩(wěn)壓室(7)相連；穩(wěn)壓室(7)通過第四閥門(8)、固定流導(dǎo)小孔(9)、第五閥門(10)與測試罩(12)連接；待測微型真空泵(14)通過第六閥門(13)與測試罩(12)連接；第二抽氣系統(tǒng)(16)通過第七閥門(15)與測試罩(12)連接；

第一真空計(6)用于測量穩(wěn)壓室(7)中氣體壓力；第二真空計(11)用于測量測試罩(12)中氣體壓力。

2.如權(quán)利要求1所述的固定流導(dǎo)法流量計測量微型真空泵抽速的裝置，其特征在于，所述氣瓶(1)中氣體為已知的單一氣體或混合氣體；氣瓶(1)的氣體出口壓力可調(diào)。

3.如權(quán)利要求1所述的固定流導(dǎo)法流量計測量微型真空泵抽速的裝置，其特征在于，所述第一閥門(2)、第二閥門(4)、第三閥門(5)、第四閥門(8)、第五閥門(10)、第六閥門(13)和第七閥門(15)均為真空閥門。

4.如權(quán)利要求1所述的固定流導(dǎo)法流量計測量微型真空泵抽速的裝置，其特征在于，第一真空計(6)為電容薄膜真空計；第二真空計(11)為磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計。

5.如權(quán)利要求1所述的固定流導(dǎo)法流量計測量微型真空泵抽速的裝置，其特征在于，所述測試罩(12)采用真空熔煉的316L不銹鋼制作而成。

6.一種微型真空泵抽速的測量方法，其特征在于：采用如權(quán)利要求1～5任意一項所述的固定流導(dǎo)法流量計測量微型真空泵抽速的裝置進(jìn)行測量，包括如下步驟：

步驟1，初始時，所有閥門以及抽氣系統(tǒng)均處于關(guān)閉狀態(tài)；

打開第二閥門(4)、第三閥門(5)和第四閥門(8)，啟動第一抽氣系統(tǒng)(3)抽真空，將穩(wěn)壓室(7)抽至本底壓力后，關(guān)閉第四閥門(8)和第二閥門(4)，關(guān)閉第一抽氣系統(tǒng)(3)，打開第一閥門(2)，氣瓶(1)中的氣體進(jìn)入穩(wěn)壓室(7)；

步驟2，當(dāng)穩(wěn)壓室(7)中的氣體壓力穩(wěn)定后，關(guān)閉第一閥門(2)和第三閥門(5)，利用第一真空計(6)測量穩(wěn)壓室(7)中氣體壓力，記為p₁；

步驟3，打開第七閥門(15)和第五閥門(10)，啟動第二抽氣系統(tǒng)(16)抽真空，將測試罩(12)抽至本底壓力后，打開第四閥門(8)，打開第六閥門(13)，啟動待測微型真空泵(14)，關(guān)閉第七閥門(15)，關(guān)閉第二抽氣系統(tǒng)(16)；

步驟4，當(dāng)測試罩(12)中的氣體壓力穩(wěn)定后，利用第二真空計(11)測量測試罩(12)中的氣體壓力，記為p₂；

步驟5，計算待測微型真空泵(14)抽速S為：

其中，C為固定流導(dǎo)小孔(9)的流導(dǎo)值。