[發(fā)明專利]一種柔性雙層閾值選通管器件及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811543867.6 | 申請日： | 2018-12-17 |
| 公開（公告）號： | CN109585651A | 公開（公告）日： | 2019-04-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 葉蔥;周易;徐中;熊文;劉炎欣 | 申請（專利權(quán)）人： | 湖北大學(xué) |
| 主分類號： | H01L45/00 | 分類號： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京金智普華知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11401 | 代理人： | 楊采良 |
| 地址： | 430062 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 選通管 過渡金屬氧化物 氧化石墨烯薄膜 底電極 介質(zhì)層 制備 磁控濺射技術(shù) 發(fā)明制備工藝 交叉陣列結(jié)構(gòu) 氧化鉿薄膜 阻變存儲器 讀寫性能 漏電問題 彎曲曲率 有效解決 制備各層 鉑電極 頂電極 旋涂法 襯底 濺射 選通 薄膜 兼容 退化 | ||
1.一種柔性雙層閾值選通管器件，其特征在于：所述選通管器件從下至上依次包括柔性襯底、底電極、氧化石墨烯薄膜層、二元過渡金屬氧化物介質(zhì)層和頂電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性雙層閾值選通管器件，其特征在于：所述的柔性襯底材料為聚萘二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亞胺中的任一種；所述的底電極為FTO、ITO、ZTO或TiN材料中的任一種；所述的二元過渡金屬氧化物介質(zhì)層材料為氧化鉿、二氧化鈦、二氧化鋯、氧化鋅中的任一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性雙層閾值選通管器件，其特征在于：所述的底電極為ITO。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性雙層閾值選通管器件，其特征在于：所述的二元過渡金屬氧化物介質(zhì)層材料為氧化鉿。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性雙層閾值選通管器件，其特征在于：所述的頂電極材料為Pt。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性雙層閾值選通管器件，其特征在于：所述底電極厚度為50～300nm，所述氧化石墨烯薄膜層厚度為20～70nm，所述氧化鉿薄膜層厚度為20～70nm，所述頂電極的厚度為100～300nm。
7.權(quán)利要求2所述的柔性雙層閾值選通管器件的制備方法，其特征在于：所述方法包含如下步驟：
(1)選擇帶有底電極的柔性襯底，并對所述底電極表面進行預(yù)處理；
(2)在預(yù)處理后的底電極上表面制備氧化石墨烯薄膜層；
(3)在所述氧化石墨烯薄膜上表面制備氧化鉿薄膜介質(zhì)層；
(4)在所述氧化鉿薄膜介質(zhì)層表面制備頂電極。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的柔性雙層閾值選通管器件的制備方法，其特征在于：步驟(2)所述氧化石墨烯薄膜具體是采用旋涂法將超聲好的氧化石墨烯分散液旋涂在所述底電極上表面制得，其中：所述氧化石墨烯分散液濃度為0.3～1.0mg/ml，旋涂轉(zhuǎn)速為3000r/min，重復(fù)旋涂3～5次。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的柔性雙層閾值選通管器件的制備方法，其特征在于：步驟(3)所述氧化鉿薄膜介質(zhì)層具體是以氧化鉿為靶材，利用磁控濺射技術(shù)制得，其中：所述磁控濺射真空度小于10-4Pa，襯底溫度為室溫，工作壓強為0.3～0.8Pa、濺射功率為50～100W。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的柔性雙層閾值選通管器件的制備方法，其特征在于：步驟(4)所述頂電極具體是以鉑為靶材，利用直流磁控濺射或原子層沉積技術(shù)制得，其中：所述磁控濺射真空度小于10-4Pa，襯底溫度為室溫，工作壓強為0.3～0.8Pa、濺射功率為50～120W。
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