[發明專利]一種波導光有源增益的實現方法、波導及光器件有效
| 申請號： | 201811543364.9 | 申請日： | 2018-12-17 |
| 公開（公告）號： | CN109491011B | 公開（公告）日： | 2020-11-06 |
| 發明（設計）人： | 李淼峰;肖希;王磊;張宇光 | 申請（專利權）人： | 武漢郵電科學研究院有限公司;武漢光谷信息光電子創新中心有限公司 |
| 主分類號： | G02B6/12 | 分類號： | G02B6/12;G02B6/134 |
| 代理公司： | 武漢智權專利代理事務所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 許小靜 |
| 地址： | 430074 湖*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 波導 有源 增益 實現 方法 器件 | ||
1.一種波導光有源增益的實現方法，所述波導位于光子芯片上或者晶圓上，其特征在于，所述實現方法包括：
在所述波導的指定區段上方制備窗口，使得所述指定區段暴露在所述光子芯片或者晶圓的表面上；
其中，當所述波導暴露在所述光子芯片或者晶圓表面上時，采用半導體制造工藝，在所述光子芯片或者晶圓表面上制備覆蓋所述波導的阻擋層，去除所述指定區段上的阻擋層以形成所述窗口；
當所述波導埋設在包層材料中時，使用干法刻蝕去除所述指定區段上的包層材料以形成所述窗口，使用濕法刻蝕去除所述指定區段周圍的包層材料，使得所述指定區段形成懸空結構；
對所述指定區段進行離子摻雜。
2.如權利要求1所述的波導光有源增益的實現方法，其特征在于：所述指定區段為直波導、環形波導、折疊波導或者迂回型波導。
3.如權利要求1所述的波導光有源增益的實現方法，其特征在于：通過溶膠凝膠法、注入法或者濺射法對所述指定區段進行離子摻雜。
4.如權利要求1所述的波導光有源增益的實現方法，其特征在于，所述實現方法還包括：在所述光子芯片或者晶圓表面上制備覆蓋摻雜后的所述指定區段的保護層。
5.如權利要求1所述的波導光有源增益的實現方法，其特征在于，所述實現方法還包括：將泵浦源產生的泵浦光垂直耦合入摻雜后的所述指定區段。
6.如權利要求5所述的波導光有源增益的實現方法，其特征在于：通過耦合器或者倒裝貼片所述泵浦源，將所述泵浦光垂直耦合入所述指定區段。
7.如權利要求5所述的波導光有源增益的實現方法，其特征在于：所述泵浦源為垂直腔面發射激光器、法布里波羅腔激光器或者分布反饋布拉格激光器。
8.一種波導，所述波導位于光子芯片上或者晶圓上，其特征在于：所述波導具有使用權利要求1至5任一項所述的波導光有源增益的實現方法制備的指定區段。
9.一種光器件，其特征在于：所述光器件包括光子芯片和泵浦源，其中，所述光子芯片具有使用如權利要求1至4任一項所述的波導光有源增益的實現方法制備的波導，所述泵浦源產生的泵浦光垂直耦合到所述波導的指定區段。
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