[發明專利]一種多層板壓合漲縮數據的抓取方法及多層板的制作方法

有效

• 申請號: 201811535260.3
• 申請日: 2018-12-14
• 公開（公告）號: CN109561605B
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 陳前;陳曉青;張霞;王俊
• 申請（專利權）人: 深圳市景旺電子股份有限公司
• 主分類號: H05K3/46
• 分類號: H05K3/46
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414
• 代理人: 張全文

1.一種多層板壓合漲縮數據的抓取方法，其特征在于，包括：

步驟11，按照優化的工程資料制作得到多個內層芯板，每一所述內層芯板的工藝邊內設有靶標、熔合位和參考環，所述工藝邊內對應長邊設有至少三組熔合位，所述工藝邊內對應短邊設有至少一組所述熔合位；不同所述內層芯板的靶標依次排列設置，作為一組漲縮測試靶標，不同所述內層芯板的參考環的圓心相互對準并依次嵌套設置，作為一組層間對準度環；所述漲縮測試靶標和層間對準度環不設置預補償系數；

步驟12，預疊及預固定，按照每兩個內層芯板之間放置一半固化片的順序將多個內層芯板進行預疊，并通過熔合方式將多個所述內層芯板之間預固定，得到預疊板；

步驟13，壓合漲縮數據的抓取，在得到的預疊板兩側分別放置半固化片，在所述半固化片兩側分別放置外層銅箔，放入壓機進行壓合；壓合后測量每一所述內層芯板上的靶標的數據以及相鄰兩個所述內層芯板上的靶標之間的距離得到壓合漲縮數據，同時對比層間對準度環的偏移情況，若所測量的壓合漲縮數據與所述層間對準度環的偏移情況一致，則將該壓合漲縮數據提供至后續產品的制作中作為預放數據；所述壓合漲縮數據包括每一所述靶標的漲縮情況以及相鄰兩個所述靶標的圓心在相互垂直的兩個方向上的偏移數據。

2.如權利要求1所述的多層板壓合漲縮數據的抓取方法，其特征在于，所述工藝邊內對應長邊設有四組所述熔合位，所述工藝邊內對應短邊設有一組所述熔合位，每一組所述熔合位包括兩個所述熔合位。

3.如權利要求1所述的多層板壓合漲縮數據的抓取方法，其特征在于，所述步驟11中，所述內層芯板還包括由所述工藝邊環繞的線路圖形區，所述線路圖形區內的線路圖形采用激光直接成像技術的無漲縮模式進行曝光制作得到。

4.如權利要求1所述的多層板壓合漲縮數據的抓取方法，其特征在于，所述步驟13中，采用三次元法測量所述靶標的外直徑和/或內直徑，以及相鄰兩個所述靶標的圓心之間的距離。

5.一種多層板的制作方法，其特征在于，包括：

步驟21，根據權利要求1至4中任一項所述的多層板壓合漲縮數據的抓取方法得到所述預放數據，將所述預放數據提供給工程人員進行預補償，并根據預補償的工程資料制作得到多個內層芯板，所述內層芯板的線路圖形區內的線路圖形以及工藝邊內的漲縮測試靶標和層間對準度環均使用所述預放數據進行預補償；

步驟22，預疊及預固定，按照每兩個所述內層芯板之間放置一半固化片的順序將多個所述內層芯板進行預疊，并通過熔合方式將多個所述內層芯板之間預固定，得到預疊板；

步驟23，壓合，將所述預疊板兩側分別放置半固化片，在半固化片兩側分別放置外層銅箔，放入壓機進行壓合，得到多層板。

6.如權利要求5所述的多層板的制作方法，其特征在于，所述步驟21中，所述內層芯板的線路圖形區內的線路圖形采用激光直接成像技術的無漲縮模式進行曝光制作得到。

7.如權利要求5所述的多層板的制作方法，其特征在于，所述步驟21中，內層芯板的漲縮測試靶標和層間對準度環均采用激光直接成像技術的無漲縮模式進行曝光制作得到。

8.如權利要求5所述的多層板的制作方法，其特征在于，所述步驟21中，所述內層芯板的工藝邊內對應長邊設有至少三組熔合位，所述工藝邊內對應短邊設有至少一組所述熔合位。

9.如權利要求8所述的多層板的制作方法，其特征在于，所述工藝邊內對應長邊各設有四組所述熔合位，所述工藝邊內對應短邊各設有一組所述熔合位。