[發(fā)明專利]一種推舟位置調節(jié)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811533764.1
• 申請日: 2018-12-14
• 公開（公告）號: CN111326439B
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發(fā)明（設計）人: 趙志然;張寶鋒;彭浩
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H01L31/18
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長清;徐好

本發(fā)明公開了一種推舟位置調節(jié)裝置，包括推舟背板、推舟槳、以及背板升降機構，所述推舟背板上設有滑動座，所述滑動座上設有用于驅動推舟槳的承載部繞推舟槳的柄部上下擺動的俯仰角度調節(jié)機構，所述俯仰角度調節(jié)機構上設有用于驅動推舟槳靠近或遠離所述推舟背板的水平位置調節(jié)機構，所述水平位置調節(jié)機構上設有用于驅動所述承載部繞所述柄部水平擺動的水平角度調節(jié)機構，所述柄部安裝于所述水平角度調節(jié)機構上。本發(fā)明具有結構簡單、緊湊，有利于準確對位，減少碰撞等優(yōu)點。

技術領域

本發(fā)明涉及晶體硅太陽能電池生產工藝設備，尤其涉及一種推舟位置調節(jié)裝置。

背景技術

隨著電池片工藝水平的不斷提升，對于電池片生產過程中的污染控制越來越嚴格，減少人員的參與，避免造成工藝的不可控因素的引入，是一項有效的措施，因此要求設備的自動化程度越來越高。以擴散爐為例，在擴散爐自動化生產的過程中，需要利用推舟槳(通常為碳化硅槳)將石英舟放入石英爐管內進行工藝過程，完成工藝過程后再將石英舟取出，若碳化硅槳空間對位不準確，或者石英舟在石英管內滑動，會導致碳化硅槳碰撞石英舟，進而導致設備出現故障，降低設備的使用效率，同時也造成了部分硅片可能出現返工報廢的現象，增加了電池片的不良率和生產成本。

發(fā)明內容

本發(fā)明要解決的技術問題是克服現有技術的不足，提供一種結構簡單、緊湊，有利于準確對位，減少碰撞的推舟位置調節(jié)裝置。

為解決上述技術問題，本發(fā)明采用以下技術方案：

一種推舟位置調節(jié)裝置，包括推舟背板、推舟槳、以及背板升降機構，所述推舟背板上設有滑動座，所述滑動座上設有用于驅動推舟槳的承載部繞推舟槳的柄部上下擺動的俯仰角度調節(jié)機構，所述俯仰角度調節(jié)機構上設有用于驅動推舟槳靠近或遠離所述推舟背板的水平位置調節(jié)機構，所述水平位置調節(jié)機構上設有用于驅動所述承載部繞所述柄部水平擺動的水平角度調節(jié)機構，所述柄部安裝于所述水平角度調節(jié)機構上。

作為上述技術方案的進一步改進：所述背板升降機構包括具有兩端輸出軸的升降驅動電機，所述升降驅動電機的兩端分別通過一連接軸連接一升降減速機，所述升降減速機與所述推舟背板相連，所述連接軸與所述推舟槳平行布置。

作為上述技術方案的進一步改進：所述俯仰角度調節(jié)機構包括第一安裝座、連接銷、第一支撐銷、連接軸承以及升降驅動件，所述升降驅動件和所述第一支撐銷設于所述滑動座上，且第一支撐銷位于推舟槳的承載部和升降驅動件之間，所述第一安裝座上設有銷孔，所述第一支撐銷貫穿所述銷孔，所述連接軸承設于所述第一安裝座上，所述連接銷貫穿所述連接軸承并與所述升降驅動件相連，所述水平位置調節(jié)機構設于所述第一安裝座上。

作為上述技術方案的進一步改進：所述銷孔為腰型孔。

作為上述技術方案的進一步改進：所述水平位置調節(jié)機構包括第二安裝座、第一水平移動驅動件以及移動導軌，所述第一水平移動驅動件和移動導軌設于所述第一安裝座上，所述第二安裝座滑設于所述移動導軌上并與所述第一水平移動驅動件相連，所述水平角度調節(jié)機構設于所述第二安裝座上。

作為上述技術方案的進一步改進：所述水平角度調節(jié)機構包括第一推舟槳安裝座、第二推舟槳安裝座、第二水平移動驅動件以及第二支撐銷，所述推舟槳的柄部安裝于所述第一推舟槳安裝座和第二推舟槳安裝座上、且第一推舟槳安裝座位于推舟槳的承載部和第二推舟槳安裝座之間，所述第二支撐銷下端設于所述第二安裝座上，上端伸入所述第一推舟槳安裝座內，所述第二推舟槳安裝座通過所述第二水平移動驅動件安裝于所述第二安裝座上。

作為上述技術方案的進一步改進：所述升降驅動件、第一水平移動驅動件以及第二水平移動驅動件均為直線單元。

作為上述技術方案的進一步改進：推舟位置調節(jié)裝置還包括用于確定推舟槳和石英舟位置的視覺定位相機，所述視覺定位相機安裝于所述推舟背板上。