[發明專利]伴隨射頻導入的電加熱噴淋板及其溫控系統

有效

• 申請號: 201811530898.8
• 申請日: 2018-12-14
• 公開（公告）號: CN109594062B
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: 戴佳卉;金基烈;吳鳳麗;譚華強
• 申請（專利權）人: 拓荊科技股份有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/52
• 代理公司: 沈陽維特專利商標事務所(普通合伙) 21229
• 代理人: 甄玉荃

1.伴隨射頻導入的電加熱噴淋板，其特征在于，包括主體結構、加熱器、熱電偶、接地法蘭（1），主體結構上放置加熱器和熱電偶（2），所述加熱器和熱電偶（2）均接地；

所述主體結構包括噴淋板（11）、噴淋上板（6，10）和噴淋板密封法蘭（5），所述噴淋板（11）的上方設有噴淋上板（10），噴淋上板（10）上方設有噴淋板密封法蘭（5），噴淋板密封法蘭（5）以上的結構均處于大氣中，以下的結構均處于真空中;噴淋上板（10）上放置加熱器，所述加熱器由加熱絲（13）和襯套組成，襯套與接地法蘭之間有彈性金屬結構用于保證良好接觸，接地法蘭與機臺其他已接地結構相連接，從而實現加熱器的接地；

所述熱電偶（2）的接地方式與加熱器相同，由襯套與接地法蘭（1）形成接地回路，襯套與接地法蘭（1）之間設有彈性金屬結構；

所述加熱器為環狀加熱器，所述襯套為鋁襯套；

環狀加熱器上中下三部分均為陶瓷材料，包括底部的陶瓷（9）、中部的陶瓷套管、上部的陶瓷罩（7），通過陶瓷（9）將環狀加熱器與噴淋上板（10）絕緣；在陶瓷罩（7）的上方設有壓塊用于保證良好的熱傳導傳熱；所述熱電偶（2）外表面同樣安裝陶瓷套管（3）用于絕緣。

2.根據權利要求1所述的伴隨射頻導入的電加熱噴淋板，其特征在于，噴淋板密封法蘭（5）上連接有射頻銅帶（20），該射頻銅帶（20）用于將射頻導入噴淋板（11）中，噴淋板密封法蘭（5）與噴淋上板（6）之間有彈性金屬結構用于保證射頻導入良好，噴淋上板（6）與噴淋板（11）之間也有彈性金屬結構用于保證射頻的良好導入。

3.根據權利要求1所述的伴隨射頻導入的電加熱噴淋板，其特征在于，進水口（15）、絕緣陶瓷（16）、流體通道（19）是連通的，用于冷卻膠圈(12)；冷水塊水道（22）、冰冷塊（23）、絕緣陶瓷（24）、水路進口（25）是連通的，用于冷卻膠圈（21）。

4.根據權利要求1所述的伴隨射頻導入的電加熱噴淋板，其特征在于，所述加熱絲的安裝位置與近噴淋板（11）的上表面相鄰。

5.根據權利要求1所述的伴隨射頻導入的電加熱噴淋板，其特征在于，所述噴淋上板（10）為“土”字形結構；所述陶瓷套選用氮化鋁材料。

6.根據權利要求1所述的伴隨射頻導入的電加熱噴淋板，其特征在于，所述電加熱噴淋板的電加熱系統，包括溫控系統、報警系統；具體為：噴淋板內裝有一個加熱絲（13）和兩個熱電偶（2、14），熱電偶（2）用于控溫，熱電偶（14）用于報警；溫控器通過對加熱絲輸出功率以達到設定溫度，熱電偶（2）實時反饋溫度值給溫控器，溫控器通過PID自動調節可以實現噴淋板溫度的精確控制；設定報警溫度值，當熱電偶（14）檢測溫度高于報警值時，報警模塊將會切斷溫控器對加熱絲的功率輸出。