[發明專利]顯示器用玻璃基板

在審

• 申請號: 201811530784.3
• 申請日: 2018-12-14
• 公開（公告）號: CN110028229A
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發明（設計）人: 安田興平;井川信彰
• 申請（專利權）人: AGC株式會社
• 主分類號: C03B18/02
• 分類號: C03B18/02;C03C15/00;C03C3/093
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 趙晶;高培培

本發明涉及一種顯示器用玻璃基板，其特征在于，玻璃基板的主表面中的一個玻璃表面的表面性狀中表示峰部與谷部的對稱性的歪斜度Rsk比0大。

技術領域

本發明涉及顯示器用玻璃基板。

背景技術

在平板顯示器(FPD)中，在玻璃基板上形成有透明電極、半導體元件等的結構被使用作為基板。例如，在液晶顯示器(LCD)中，在玻璃基板上形成有透明電極、TFT(Thin FilmTransistor：薄膜晶體管)等的結構被使用作為基板。

透明電極、半導體元件等的向玻璃基板上的形成在將玻璃基板的與半導體元件形成面相反的一側的玻璃表面通過真空吸附而固定于吸附臺上的狀態下進行。然而，在將形成有透明電極、半導體元件等的玻璃基板從吸附臺剝離時，玻璃基板帶電，會發生TFT等半導體元件的靜電破壞。

專利文獻1通過玻璃基板的主表面中的一個玻璃表面的表面性狀中由凹凸的平均間隔定義的RSm為0.05μm以上、且表示峰部與谷部的對稱性的歪斜度Rsk比0小的結構，從而實現帶電的減少。

【在先技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】日本國特開2014-201445號公報

【發明要解決的課題】

然而，如專利文獻1那樣，歪斜度Rsk比0小時，玻璃基板與金屬或絕緣體的板等進行接觸剝離的面積增大，玻璃基板的靜電的帶電反而可能會成為問題。

發明內容

本發明鑒于上述課題而作出，提供一種在從吸附臺剝離時難以產生剝離帶電的顯示器用玻璃基板。

【用于解決課題的方案】

本發明提供一種顯示器用玻璃基板，其特征在于，玻璃基板的主表面中的一個玻璃表面的表面性狀中表示峰部與谷部的對稱性的歪斜度Rsk比0大。

【發明效果】

本發明的顯示器用玻璃基板在從吸附臺剝離時難以產生剝離帶電。

附圖說明

圖1是本發明的實施方式的顯示器用玻璃基板的制造方法的說明圖，是表示熱處理裝置的一結構例的示意圖。

圖2是本發明的實施方式的顯示器用玻璃基板的制造方法的說明圖，是表示熱處理裝置的另一結構例的示意圖。

圖3是本發明的實施方式的顯示器用玻璃基板的制造方法的說明圖，是表示浮法玻璃制造裝置的概略的剖視圖。

圖4是表示實施例的噴射器的狹縫寬度(a)、處理長度(b)、處理寬度(c)的關系的圖。

圖5(a)是表示均方根粗糙度Rq的概念的概念圖，圖5(b)是表示歪斜度Rsk的概念的概念圖，該歪斜度Rsk表示峰部與谷部的對稱性。

【標號說明】

10 玻璃原料

12 熔融玻璃

14 玻璃帶

20 板玻璃

22 下表面

24 上表面

60、62 熱處理裝置

70、80 噴射器

71、81 供給口

74、84 流路