[發明專利]氣體分配器及包括它的用于多晶體硅沉積的反應器

在審

• 申請號: 201811529257.0
• 申請日: 2014-03-19
• 公開（公告）號: CN109928396A
• 公開（公告）日: 2019-06-25
• 發明（設計）人: 弗里德里克·波普;克里斯蒂安·庫察;馬丁·勒克爾;托比亞斯·韋斯
• 申請（專利權）人: 瓦克化學股份公司
• 主分類號: C01B33/035
• 分類號: C01B33/035;B01J4/00;B01J19/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 陳鵬;瞿藝

1.一種氣體分配器，氣體能夠在所述氣體分配器中傳輸，所述氣體分配器包括：通過能易于拆卸的緊固裝置氣密性地連接至彼此的至少兩個部分；至少一個氣體進口孔；以及至少一個氣體出口孔，其中，所述氣體分配器能夠通過能易于拆卸的緊固裝置安裝至用于多晶體硅沉積的反應器，其中，所述氣體分配器的所述至少一個氣體出口孔連通地連接至所述反應器的至少一個氣體進口孔，和/或其中，所述氣體分配器的所述至少一個氣體進口孔連通地連接至所述反應器的介質供應部的至少一個氣體進給管線。

2.根據權利要求1所述的氣體分配器，所述氣體分配器適于將氣體引入至所述反應器中，其中，所述至少一個氣體進口孔被設置成用于進給氣體并且連接至氣體進給管線，其中，所述至少一個氣體出口孔用于將氣體進給至反應器噴嘴。

3.根據權利要求1或2所述的氣體分配器，其中，所述能易于拆卸的緊固裝置是凸緣連接件。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的氣體分配器，其中，從所述氣體分配器至噴嘴的進給管線具有相同形狀。

5.根據權利要求4所述的氣體分配器，其中，所述進給管線豎直地延伸。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的氣體分配器，其中，所述氣體分配器為環形類型。

7.一種氣體分配器，氣體在所述氣體分配器中傳輸，所述氣體分配器包括：通過能易于拆卸的緊固裝置氣密性地連接至彼此的至少兩個部分；至少一個氣體進口孔；以及至少一個氣體出口孔，其中，所述氣體分配器能夠通過能易于拆卸的緊固裝置安裝至用于多晶體硅沉積的反應器，其中，所述氣體分配器的所述至少一個氣體進口孔被設置成用于從所述反應器進給廢氣并且被連接至所述反應器的至少一個廢氣口，其中，所述氣體分配器的所述至少一個氣體出口孔用于從所述氣體分配器移除所述廢氣。

8.根據權利要求7所述的氣體分配器，其中，所述能易于拆卸的緊固裝置是凸緣連接件。

9.根據權利要求7或8所述的氣體分配器，其中，從所述反應器的所述廢氣口至所述氣體分配器的連接管線具有相同形狀。

10.根據權利要求7至9中任一項所述的氣體分配器，其中，所述氣體分配器為環形類型。

11.一種用于多晶體硅沉積的反應器，所述反應器包括至少一個根據權利要求1至6中任一項所述的氣體分配器。

12.一種用于多晶體硅沉積的反應器，所述反應器包括至少一個根據權利要求7至10中任一項所述的氣體分配器。

13.一種用于多晶體硅沉積的反應器，所述反應器包括至少一個根據權利要求1至6中任一項所述的氣體分配器以及至少一個根據權利要求7至10中任一項所述的氣體分配器。