[發(fā)明專利]光學(xué)測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811516896.3
• 申請(qǐng)日: 2018-12-12
• 公開（公告）號(hào): CN110260784B
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 奧田貴啟;丸川真理子;森野久康
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 歐姆龍株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01B11/00
• 分類號(hào): G01B11/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

1.一種光學(xué)測(cè)量裝置，包括：

光源，輸出多個(gè)波長(zhǎng)的光；

傳感頭，包括轉(zhuǎn)換透鏡及物鏡，所述轉(zhuǎn)換透鏡將經(jīng)由包含多個(gè)纖芯的導(dǎo)光部所入射的所述光轉(zhuǎn)換成平行光，所述物鏡將產(chǎn)生了色差的所述光照射于測(cè)量對(duì)象物，所述導(dǎo)光部包括光纖，所述光纖為具有四個(gè)所述多個(gè)纖芯的光纖；以及

分光器，經(jīng)由所述導(dǎo)光部而獲取經(jīng)所述測(cè)量對(duì)象物反射并由所述傳感頭聚光的反射光，測(cè)量所述反射光的光譜，

所述傳感頭中，以抑制從所述導(dǎo)光部所含的所述多個(gè)纖芯中的一個(gè)纖芯出射的光作為所述反射光而入射至所述一個(gè)纖芯以外的纖芯的方式，在所述轉(zhuǎn)換透鏡與所述物鏡之間配置有遮蔽光的遮蔽物，所述遮蔽物配置成四方點(diǎn)狀、十字狀或環(huán)狀，所述遮蔽物是與所述多個(gè)纖芯的排列對(duì)應(yīng)地配置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)測(cè)量裝置，所述傳感頭在所述轉(zhuǎn)換透鏡與所述物鏡之間收容具有衍射面的衍射透鏡，所述衍射面形成有用于使所入射的所述光沿著光軸方向產(chǎn)生色差的衍射圖案，

所述遮蔽物配置于所述衍射透鏡中位于所述衍射面的相反側(cè)的面上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)測(cè)量裝置，所述光為白色光。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)測(cè)量裝置，其為利用共焦光學(xué)系統(tǒng)來對(duì)所述測(cè)量對(duì)象物的位移進(jìn)行測(cè)量的共焦測(cè)量裝置。