[發明專利]一種用于濺鍍載具的清潔裝置

有效

• 申請號: 201811514967.6
• 申請日: 2018-12-12
• 公開（公告）號: CN109604195B
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 劉宏茂
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B1/02;B08B5/02;B08B15/04
• 代理公司: 深圳匯智容達專利商標事務所(普通合伙) 44238
• 代理人: 孫威;潘中毅

本發明公開了一種用于濺鍍載具的清潔裝置，用以去除濺鍍載具傳動載具底部的傳動導軌和傳動滾輪摩擦產生的金屬灰塵，包括：緊固在傳動導軌周圍的支架；裝設在支架上的用以去除附著在傳動導軌上金屬灰塵的刷體；裝設在支架上的用以去除附著在傳動導軌和/或傳動滾輪表面的金屬灰塵，形成防止灰塵擴散的定向氣流的正壓去除組件；以及用以產生定向氣流流向，對金屬灰塵進行收集的真空去除收集組件。實施本發明的用于濺鍍載具的清潔裝置，能夠在傳動載具正常運作的情況下，自動清潔因摩擦產生的灰塵，并自動收集；降低灰塵造成的膜層不良的概率；結構布置合理，實現高效清潔。

技術領域

本發明涉及面板制作領域，尤其涉及一種用于濺鍍載具的清潔裝置。

背景技術

現有技術中，隨著基板玻璃的尺寸越來越大，高世代濺鍍載具的體積也逐步增長。例如，現有的11代濺鍍載具的設計重量達到300KG。

隨之濺鍍載具重量的增加，在其傳動載具持續運轉的過程中，容易產生如下技術問題：傳動載具底部的傳動導軌與傳動滾輪摩擦產生的金屬灰塵大幅增加，摩擦產生的金屬粉塵極易污染到膜層，造成產品良率的降低。

現有技術中濺鍍載具的清潔方式還主要依靠定期酒精擦拭清除的方式，其需要停機作業，影響效能；同時也增加了人力成本。

發明內容

本發明所要解決的技術問題在于，提供一種用于濺鍍載具的清潔裝置，能夠在傳動載具正常運作的情況下，自動清潔因摩擦產生的灰塵，并自動收集；降低灰塵造成的膜層不良的概率；結構布置合理，實現高效清潔。

為了解決上述技術問題，本發明提供了一種用于濺鍍載具的清潔裝置，用以去除濺鍍載具傳動載具底部的傳動導軌和傳動滾輪摩擦產生的金屬灰塵，其特征在于，包括：裝設在傳動導軌周圍的支架；裝設在支架上的用以去除附著在傳動導軌上金屬灰塵的刷體,刷體為一可自轉的結構構造的毛刷；裝設在支架上的用以去除附著在傳動導軌和/或傳動滾輪表面的金屬灰塵，形成防止灰塵擴散的定向氣流的正壓去除組件；以及用以產生定向氣流流向，對金屬灰塵進行收集的真空去除收集組件；支架上開設有凹槽，傳動導軌穿過凹槽,刷體設置在凹槽的底部，與傳動導軌觸碰,凹槽的截面呈U形；正壓去除組件至少包括一噴嘴，噴嘴朝向刷體對傳動導軌進行刷持的位置噴射氣流,使噴射氣流能夠配合真空去除收集組件對灰塵進行集中收集，防止刷體周圍的灰塵擴散；正壓去除組件固定在凹槽的開口側。

其中，正壓去除組件還具有與噴嘴相連的管體和與管體相連的正壓接入口。

其中，真空去除收集組件裝設在刷體的底部，真空去除收集組件通過產生負壓形成定向氣流流向。

實施本發明所提供的用于濺鍍載具的清潔裝置，具有如下有益效果：刷體能夠去除附著在傳動導軌上的金屬灰塵；正壓去除組件能夠去除附著在傳動導軌和/或傳動滾輪表面的金屬灰塵，形成防止灰塵擴散的定向氣流；真空去除收集組件能夠產生定向氣流流向，對金屬灰塵進行收集，能夠在傳動載具正常運作的情況下，自動清潔因摩擦產生的灰塵，并自動收集；降低灰塵造成的膜層不良的概率；結構布置合理，實現高效清潔。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發明實施例濺鍍載具的主視結構示意圖。

圖2是本發明實施例濺鍍載具的俯視結構示意圖。

圖3是本發明實施例用于濺鍍載具的清潔裝置的截面結構示意圖。

具體實施方式