[發明專利]一種切割液磁性吸附金剛石線鋸切割方法

在審

• 申請號: 201811501588.3
• 申請日: 2018-12-10
• 公開（公告）號: CN109571786A
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 張威;裘騰威;仵健磊;金漲軍;熊瑞斌
• 申請（專利權）人: 寧波職業技術學院
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/02
• 代理公司: 寧波智翔專利代理有限公司 33255
• 代理人: 朱萍

本發明屬于金剛石線鋸切割技術領域，具體涉及一種切割液磁性吸附金剛石線鋸切割方法,包括如下步驟：在金剛石鋸絲一側設置有永磁鐵，產生磁場，金剛石鋸絲在磁場內會被磁化具有磁性吸附力；納米磁性切割液中均勻混合有納米級的三氧化二鐵顆粒，噴嘴將磁性切割液噴灑到金剛石鋸絲附近時，攜帶有切削液的三氧化二鐵顆粒被吸附到金剛石鋸絲上；金剛石鋸絲在切割工件過程中，將納米粒子及切削液帶入到切割區域中。本發明在切割液中添加磁性納米粒子，在磁場中的金剛石鋸絲被磁化后，噴出的納米磁性切削液會吸附在金剛石鋸絲表面并隨之進入切割區域，從而有效提高切割區域的潤滑作用，降低切割區域由于切割力和摩擦產生的切割溫度。

技術領域

本發明屬于金剛石線鋸切割技術領域，具體涉及一種切割液磁性吸附金剛石線鋸切割方法。

背景技術

金剛石線鋸切割是目前硅片產業的主流切割技術。傳統金剛石線鋸切割大尺寸硅晶體過程中，由于切縫狹窄，切削液難以進入到切割區域，削熱不能及時消除，被鋸絲吸收后會引起金剛石磨粒的脫落和鋸絲的斷線，脫落的金剛石磨粒又在切割過程中被擠壓，嵌入硅片表面，造成較深的凹坑，硅片的表面和亞表面質量的損害更為嚴重，從而增加金剛石線鋸切割成本以及后續研磨拋光加工成本。

發明內容

本發明的目的是針對現有的技術存在上述問題，提出了一種有效降低摩擦、冷卻速度快、有利于提高切片質量和、延長鋸絲使用壽命的切割液磁性吸附金剛石線鋸切割的方法及其裝置。

本發明的目的可通過下列技術方案來實現，一種切割液磁性吸附金剛石線鋸切割方法，包括如下步驟：

(1)在金剛石鋸絲一側設置有永磁鐵，產生磁場，金剛石鋸絲在磁場內會被磁化具有磁性吸附力；

(2)納米磁性切割液中均勻混合有納米級的三氧化二鐵顆粒，噴嘴將磁性切割液噴灑到金剛石鋸絲附近時，攜帶有切削液的三氧化二鐵顆粒被吸附到金剛石鋸絲上；

(3)金剛石鋸絲在切割工件過程中，將納米粒子及切削液帶入到切割區域中。

在上述的一種切割液磁性吸附金剛石線鋸切割方法中，所述金剛石鋸絲采用電鍍金剛石鋸絲。

在上述的一種切割液磁性吸附金剛石線鋸切割方法中，所述納米磁性切割液中添加有分散劑和表面活性劑。

本發明在切割液中添加磁性納米粒子，在磁場中的金剛石鋸絲被磁化后，噴出的納米磁性切削液會吸附在金剛石鋸絲表面并隨之進入切割區域，從而有效提高切割區域的潤滑作用，降低切割區域由于切割力和摩擦產生的切割溫度，有利于提高切片質量及鋸絲使用壽命。

附圖說明

圖1為本發明一種切割液磁性吸附金剛石線鋸切割方法示意圖。

圖中，金剛石鋸絲1，永磁鐵2，三氧化二鐵顆粒3，噴嘴4，工件5。

具體實施方式

以下是本發明的具體實施例并結合附圖，對本發明的技術方案作進一步的描述，但本發明并不限于這些實施例。

如圖1所示，一種切割液磁性吸附金剛石線鋸切割方法，包括如下步驟：

(1)在金剛石鋸絲1一側設置有永磁鐵2，產生磁場，金剛石鋸絲1在磁場內會被磁化具有磁性吸附力；

(2)納米磁性切割液中均勻混合有納米級的三氧化二鐵顆粒3，噴嘴4將磁性切割液噴灑到金剛石鋸絲1附近時，攜帶有切削液的三氧化二鐵顆粒3被吸附到金剛石鋸絲1上；

(3)金剛石鋸絲1在切割工件5過程中，將納米粒子及切削液帶入到切割區域中。