[發(fā)明專利]組合傳感器和電子設(shè)備在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811501576.0 | 申請日: | 2018-12-07 |
| 公開(公告)號: | CN109348389A | 公開(公告)日: | 2019-02-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 潘新超;王德信;端木魯玉;楊軍偉;邱文瑞 | 申請(專利權(quán))人: | 歌爾股份有限公司 |
| 主分類號: | H04R19/04 | 分類號: | H04R19/04 |
| 代理公司: | 深圳市世紀(jì)恒程知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287 | 代理人: | 胡海國 |
| 地址: | 261031 山東省濰*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 基板 環(huán)境傳感器 聲學(xué)傳感器 組合傳感器 容置腔 電子設(shè)備 芯片 第二管 管腳 罩蓋 嵌入 間隔設(shè)置 電連接 腳電 排布 圍合 | ||
本發(fā)明公開一種組合傳感器和電子設(shè)備,其中,所述組合傳感器包括罩蓋、基板、環(huán)境傳感器及聲學(xué)傳感器,所述基板與所述罩蓋圍合形成容置腔;環(huán)境傳感器包括設(shè)于所述容置腔的MEMS環(huán)境芯片和嵌入所述基板內(nèi)的第一ASIC芯片,所述第一ASIC芯片與所述MEMS環(huán)境芯片通過第一管腳電連接;聲學(xué)傳感器包括設(shè)于所述容置腔的MEMS麥克風(fēng)芯片和嵌入所述基板內(nèi)的第二ASIC芯片,所述MEMS麥克風(fēng)芯片和第二ASIC芯片通過第二管腳電連接;所述MEMS環(huán)境芯片與所述MEMS麥克風(fēng)芯片間隔設(shè)置,所述第一管腳與所述第二管腳分別排布于所述基板不同的兩側(cè)邊。本發(fā)明技術(shù)方案可減少環(huán)境傳感器對聲學(xué)傳感器的干擾。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種組合傳感器和電子設(shè)備。
背景技術(shù)
傳感器作為測量器件,已普遍應(yīng)用在手機(jī)、筆記本電腦以及各種穿戴電子產(chǎn)品上。近年來,隨著科技發(fā)展,電子產(chǎn)品的體積不斷縮小,為了節(jié)省成本減小體積,通常會(huì)將不同功能的傳感器集成在同一個(gè)封裝內(nèi),如環(huán)境傳感器和聲學(xué)傳感器。對于比較復(fù)雜的傳感器,通常會(huì)引入不同種類的芯片,如MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)芯片或ASIC(Application Specific Integrated Circuit,集成電路)信號處理芯片,為了進(jìn)一步減小體積,可將ASIC信號處理芯片嵌入基板中。
目前,環(huán)境傳感器為了降低能耗,通常會(huì)頻繁開關(guān),且在開關(guān)的瞬間會(huì)對聲學(xué)傳感器造成電磁干擾,又由于封裝結(jié)構(gòu)的空間有限,環(huán)境傳感器的信號輸出端與聲學(xué)傳感器的間距又非常近,導(dǎo)致干擾進(jìn)一步增大。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的是提供一種組合傳感器,旨在減少組合傳感器之間的干擾。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提出的組合傳感器包括罩蓋;基板,所述基板與所述罩蓋圍合形成容置腔;及
環(huán)境傳感器,包括設(shè)于所述容置腔的MEMS環(huán)境芯片和嵌入所述基板內(nèi)的第一ASIC芯片,所述第一ASIC芯片與所述MEMS環(huán)境芯片通過第一管腳電連接;
聲學(xué)傳感器,包括設(shè)于所述容置腔的MEMS麥克風(fēng)芯片和嵌入所述基板內(nèi)的第二ASIC芯片,所述MEMS麥克風(fēng)芯片和第二ASIC芯片通過第二管腳電連接;
所述MEMS環(huán)境芯片與所述MEMS麥克風(fēng)芯片間隔設(shè)置,所述第一管腳與所述第二管腳分別排布于所述基板不同的兩側(cè)邊。
可選地,所述MEMS環(huán)境芯片包括并排設(shè)置的正電區(qū)域和負(fù)電區(qū)域,所述第一管腳設(shè)有多個(gè),多個(gè)所述第一管腳呈線性排布,且多個(gè)所述第一管腳的連線與所述正電區(qū)域和所述負(fù)電區(qū)域連線呈平行間隔設(shè)置。
可選地,所述第二管腳設(shè)有多個(gè),多個(gè)所述第二管腳均排列設(shè)于所述MEMS麥克風(fēng)芯片的同一側(cè)。
可選地,所述正電區(qū)域和所述負(fù)電區(qū)域沿所述MEMS麥克風(fēng)芯片至所述第二管腳的方向上排列設(shè)置,所述第一管腳設(shè)于所述正電區(qū)域和所述負(fù)電區(qū)域背離所述MEMS麥克風(fēng)芯片的一側(cè)。
可選地,所述第一管腳與所述第二管腳設(shè)于所述基板相對的兩側(cè)邊。
可選地,所述MEMS麥克風(fēng)芯片包括設(shè)于所述基板的襯底,所述襯底開設(shè)有通孔,所述襯底背離所述基板的一端依次連接振膜和背板,所述基板或罩蓋開設(shè)有與所述通孔連通的聲孔,所述背板開設(shè)有連通所述通孔與容置腔的過孔。
可選地,所述基板開設(shè)所述聲孔,所述通孔的中心與所述聲孔的中心一致。
可選地,所述環(huán)境傳感器為氣壓、溫度、濕度和光學(xué)傳感器中的一種或幾種。
可選地,所述基板的內(nèi)部間隔設(shè)有第一腔體和第二腔體,所述第一ASIC芯片和第二ASIC芯片分別容納于所述第一腔體和第二腔體內(nèi)。
本發(fā)明還提出一種電子設(shè)備,包括如上所述的組合傳感器。
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