[發(fā)明專(zhuān)利]高分辨力立體視覺(jué)系統(tǒng)與測(cè)量方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811496736.7 | 申請(qǐng)日: | 2018-12-07 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN109470146B | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-06-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉儉;李勇;王偉波;趙一軒 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 哈爾濱工業(yè)大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào): | G01B11/00 | 分類(lèi)號(hào): | G01B11/00 |
| 代理公司: | 北京慕達(dá)星云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 崔自京 |
| 地址: | 150000 黑龍*** | 國(guó)省代碼: | 黑龍江;23 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 分辨力 立體 視覺(jué) 系統(tǒng) 測(cè)量方法 | ||
1.高分辨力立體視覺(jué)系統(tǒng),包括:至少兩個(gè)單目測(cè)量裝置(15);所述單目測(cè)量裝置(15)對(duì)三維被測(cè)樣品(1)進(jìn)行視覺(jué)測(cè)量;
其特征在于,所述單目測(cè)量裝置,包括激光照明模塊、視覺(jué)攝像模塊、掃描放大測(cè)量模塊;
所述的激光照明模塊按照照明光傳播方向依次為:激光器(11)、PBS(10)、二維振鏡(9)、掃描透鏡(8)、場(chǎng)鏡I(7)、管鏡(6)、1/4波片(5)、物鏡(4)、場(chǎng)鏡II(3)和攝影鏡頭(2);
所述的視覺(jué)攝像模塊為:攝影鏡頭(2)、場(chǎng)鏡II(3)、物鏡(4)、1/4波片(5)、管鏡(6)、場(chǎng)鏡I(7)、掃描透鏡(8)、二維振鏡(9)、PBS(10)、聚焦透鏡(12)、針孔(13)和PMT探測(cè)器(14);
所述的掃描放大測(cè)量模塊按照信號(hào)光傳播方向依次為:激光器(11)、PBS(10)、二維振鏡(9)、掃描透鏡(8)、場(chǎng)鏡I(7)、管鏡(6)、1/4波片(5)、物鏡(4)、場(chǎng)鏡II(3)、物鏡(4)、1/4波片(5)、管鏡(6)、場(chǎng)鏡I(7)、掃描透鏡(8)、二維振鏡(9)、PBS(10)、聚焦透鏡(12)、針孔(13)和PMT探測(cè)器(14);
所述的激光照明模塊、視覺(jué)攝像模塊、掃描放大測(cè)量模塊共用場(chǎng)鏡II(3)、物鏡(4)、1/4波片(5)、管鏡(6)、場(chǎng)鏡I(7)、掃描透鏡(8)、二維振鏡(9)、PBS(10);
所述的激光照明模塊、視覺(jué)攝像模塊還共用攝影鏡頭(2);
所述的激光照明模塊、掃描放大測(cè)量模塊共用激光器(11);
所述的視覺(jué)攝像模塊、掃描放大測(cè)量模塊共用聚焦透鏡(12)、針孔(13)和PMT探測(cè)器(14);
所述的激光照明模塊中激光器(11)發(fā)出激光,準(zhǔn)直后形成平行光,經(jīng)過(guò)PBS反射后再經(jīng)過(guò)二維振鏡(9)和掃描透鏡(8)后聚焦于場(chǎng)鏡I(7)光心位置處,光束經(jīng)過(guò)管鏡(6)后形成平行光后經(jīng)1/4波片(5)后被物鏡(4)聚焦于場(chǎng)鏡II(3)光心位置,再經(jīng)攝影鏡頭(2)聚焦于三維被測(cè)樣品(1)表面形成聚焦光斑,所述的聚焦光斑照射三維被測(cè)樣品表面的發(fā)出反射光;
所述三維被測(cè)樣品(1)表面發(fā)出的反射光依次經(jīng)過(guò)攝影鏡頭(2)、場(chǎng)鏡II(3)、物鏡(4)、1/4波片(5)、管鏡(6)、場(chǎng)鏡I(7)、掃描透鏡(8)、二維振鏡(9)、PBS(10)和聚焦透鏡(12)、針孔(13)后被PMT探測(cè)器(14)收集。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高分辨力立體視覺(jué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)高分辨力立體視覺(jué)測(cè)量的測(cè)量方法,其特征在于,所包括以下步驟:
步驟a、根據(jù)具體需求選擇幾個(gè)單目測(cè)量裝置組成高分辨力立體視覺(jué)系統(tǒng);
步驟b、對(duì)每一單目測(cè)量裝置進(jìn)行單目矯正;
步驟c、對(duì)整體立體視覺(jué)系統(tǒng)進(jìn)行矯正;
步驟d、將三維被測(cè)樣品放置在清晰成像處并對(duì)三維被測(cè)樣品進(jìn)行成像并計(jì)算形貌。
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