[發(fā)明專利]一種基于微型真空泵測量惰性氣體抽速的裝置及方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811488521.0 | 申請日： | 2018-12-06 |
| 公開（公告）號： | CN109751233A | 公開（公告）日： | 2019-05-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 郭美如;董猛;孫雯君;李剛;裴曉強;任正宜;管保國 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘭州空間技術(shù)物理研究所 |
| 主分類號： | F04B51/00 | 分類號： | F04B51/00 |
| 代理公司： | 北京理工大學(xué)專利中心 11120 | 代理人： | 仇蕾安;付雷杰 |
| 地址： | 730000 甘*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微型真空泵 抽速 活性氣體 真空抽氣系統(tǒng) 測試 抽氣系統(tǒng) 惰性氣體 測量惰性氣體 磁懸浮轉(zhuǎn)子 氣體微流量 抽真空 真空計 測量 抽出 測試過程 氣體壓力 動態(tài)平衡 微流量 速比 | ||
1.一種基于微型真空泵測量惰性氣體抽速的裝置，其特征在于，包括氣體微流量源、測試罩、真空抽氣系統(tǒng)、活性氣體抽氣系統(tǒng)、磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計及待測微型真空泵；
所述氣體微流量源用于提供微流量惰性氣體；真空抽氣系統(tǒng)用于對測試罩內(nèi)抽真空；活性氣體抽氣系統(tǒng)用于抽出活性氣體，且抽速比待測微型真空泵的抽速大104倍，同時對惰性氣體無抽速；
氣體微流量源通過管路與測試罩連接，真空抽氣系統(tǒng)通過管路與測試罩連接，預(yù)先對測試罩內(nèi)抽真空；待測微型真空泵通過管路與測試罩連接；活性氣體抽氣系統(tǒng)通過管路與測試罩連接，在測試過程中活性氣體抽氣系統(tǒng)與待測微型真空泵一起抽出測試罩中的氣體，并由磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計測量動態(tài)平衡下的測試罩內(nèi)的氣體壓力。
2.如權(quán)利要求1所述的基于微型真空泵測量惰性氣體抽速的裝置，其特征在于，所述真空抽氣系統(tǒng)包括電離真空計、閥門及抽氣泵；
抽氣泵通過閥門與測試罩連接，電離真空計用于測量測試罩中的本底氣體壓力。
3.如權(quán)利要求1所述的基于微型真空泵測量惰性氣體抽速的裝置，其特征在于，所述活性氣體抽氣系統(tǒng)采用非蒸散型吸氣劑泵。
4.一種基于微型真空泵測量惰性氣體抽速的方法，其特征在于，采用如權(quán)利要求2所述的裝置，具體操作步驟如下：
步驟一、打開閥門及抽氣泵，開啟電離真空計；
步驟二、用電離真空計測量測試罩內(nèi)的本底氣體壓力，當(dāng)本底氣體壓力測量值小于1×10-6Pa時，打開活性氣體抽氣系統(tǒng)，直至測試罩內(nèi)壓力值保持不變時，關(guān)閉閥門及抽氣泵；
步驟三、開啟待測微型真空泵，開啟磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計；
步驟四、開啟氣體微流量源，將微流量惰性氣體引入測試罩內(nèi)，用磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計測量動態(tài)平衡下的測試罩的壓力；
步驟五、根據(jù)流量守恒定律，氣體微流量源提供的惰性氣體流量被待測微型真空泵抽走，用壓力與流量的關(guān)系式求出待測微型真空泵對惰性氣體的抽速。
5.如權(quán)利要求4所述的基于微型真空泵測量惰性氣體抽速的方法，其特征在于，所述活性氣體抽氣系統(tǒng)采用非蒸散型吸氣劑泵。
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