[發明專利]蒸鍍腔結構及遮擋板結構

有效

• 申請號: 201811479218.4
• 申請日: 2018-12-05
• 公開（公告）號: CN109371369B
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: 徐超
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

一種蒸鍍腔結構以及遮擋板結構。所述蒸鍍腔結構包含腔體、材料噴嘴以及遮擋板結構。所述材料噴嘴位于所述腔體內部下方，用來噴出欲鍍原料至待鍍基板。所述遮擋板包含支撐部、數個支撐條以及數個副遮擋板。數個副遮擋板位于所述支撐條之間，所述數個副擋板通過所述支撐條收合重疊或展開覆蓋。利用本發明提供的蒸鍍腔結構可以使遮擋板的重量分散在數個副遮擋板上，避免蒸鍍機中的遮擋板重量過重而下垂，導致材料逸散。

技術領域

本發明涉及蒸鍍技術領域，尤其是涉及蒸鍍有機發光材料技術的領域。

背景技術

有機發光二極體(Organic Light Emitting Diode,OLED)顯示器具有亮度高、反應快、耗能低、具柔軟性等優點，因此逐漸成為顯示領域發展的重點技術。因上述優點，與薄膜晶體管(Thin film transistor,TFT)顯示器相比，OLED顯示器更適合用于制備大尺寸、薄型、柔性、透明及雙面顯示的顯示器。

目前制備OLED顯示器的方式通常是利用蒸鍍工藝在基板上形成有機材料層，通過蒸鍍機將小分子的有機材料蒸鍍至面板的基板上。請參考圖1，蒸鍍機具有可容納待鍍基板的蒸鍍腔10，蒸鍍材料由下方噴嘴12噴出時，由于噴嘴12的噴嘴口較小，因此蒸鍍材料會無法均勻分布于基板14上，因此蒸鍍腔10中具有遮擋板100位于噴嘴12與基板14之間。現有的遮擋板100由主遮擋板102、副遮擋板104及支撐部106組成。當噴嘴12剛噴出有機材料時，主遮擋板102與副遮擋板104閉合使有機材料在遮擋板100下方擴散，當有機材料擴散均勻且達預定濃度時，主遮擋板102與副遮擋板104以支撐部106為中心分離使有機材料均勻地蒸鍍到基板14上。

然而當制備大尺寸面板時，蒸鍍機中的蒸鍍腔直徑也較大，此時也需要面積較大的遮擋板。如圖2所示，蒸鍍腔20同樣具有位于噴嘴22與基板24之間的遮擋板200，遮擋板200由主遮擋板202、副遮擋板204及支撐部206所組成。由于此時遮擋板200的面積較大，而遮擋板200只有一個與支撐部206相連的支撐點，因此主遮擋板202就容易因面積大、重量重而使主遮擋板202下垂，使得主遮擋板202與副遮擋板204無法完全閉合，導致有機材料逸散到基板24上而影響面板的品質。

因此，需要一種用于蒸鍍機中的遮擋板結構，來解決在制備大尺寸面板時，遮擋板只具有單一支撐點使得支撐力不足導致主遮撐板下垂的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種蒸鍍腔結構，包含腔體、材料噴嘴以及遮擋板結構。所述材料噴嘴位于所述腔體內部下方，用來噴出欲鍍原料至待鍍基板。所述遮擋板結構包含支撐部、數個支撐條以及數個副遮擋板。所述數個支撐條連接所述支撐部。所述數個副遮擋板位于所述支撐條之間，所述數個副擋板通過所述支撐條收合重疊或展開覆蓋。

較佳地，當所述數個副遮擋板展開覆蓋時，每一個所述副遮擋板狀為扇形。

較佳地，當所述數個副遮擋板展開覆蓋時，每一個所述副遮擋板狀為三角形。

較佳地，當所述數個副遮擋板展開覆蓋時，每一個所述副遮板具有相同的圓心角。

較佳地，所述數個副遮擋板可以收合重疊或展開覆蓋，通過所述數個副遮擋板的收合重疊或展開覆蓋合，控制所述欲鍍原料的濃度。

較佳地，所述數個副遮擋板可以收合重疊或展開覆蓋，通過所述數個副遮擋板的收合重疊或展開覆蓋合，控制所述欲鍍原料的濃度，當所述欲鍍原料濃度達預設值時，所述數個副遮擋板以所述支撐部為中心收合重疊，使所述欲鍍原料蒸鍍至所述待鍍基板上；當所述欲鍍原料濃度未達預設值時，所述數個副遮擋板以所述支撐部為中心展開覆蓋，避免所述欲鍍原料蒸鍍至所述待鍍基板上。

本發明還提供一種遮擋板結構，包含支撐部、數個支撐條以及數個副遮擋板。所述數個支撐條連接所述支撐部。所述數個副遮擋板位于所述支撐條之間，所述數個副擋板通過所述支撐條收合重疊或展開覆蓋。