[發明專利]微機電泵模塊

有效

• 申請號: 201811477910.3
• 申請日: 2018-12-05
• 公開（公告）號: CN111271268B
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發明（設計）人: 莫皓然;余榮侯;張正明;戴賢忠;廖文雄;黃啟峰;韓永隆;蔡長諺
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B49/06
• 分類號: F04B49/06;F04B19/00;F04B17/03
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;鄭特強

一種微機電泵模塊，包含：一微處理器，輸出一定電壓及一變電壓；一微機電芯片，電連接微處理器，微機電芯片包含：一芯片本體，為一長方形態樣，具有一長邊；多個微機電泵，設置于芯片本體，且分別具有一第一電極及一第二電極；多個連接電極，設置于芯片本體且鄰近長邊，連接電極分別電連接微機電泵的第一電極；以及至少一共電極，設置于芯片本體且鄰近長邊，共電極電連接微機電泵的第二電極；其中，微處理器分別電連接連接電極及共電極，以傳輸定電壓至共電極以及傳輸變電壓至連接電極。

【技術領域】

本案關于一種微機電泵模塊，尤指一種利用共電極的設置來減少微處理器的接點，進而簡化微機電泵接點與布線的微機電泵模塊。

【背景技術】

隨著科技的日新月異，流體輸送裝置的應用亦愈來愈多元化，舉凡工業應用、生醫應用、醫療保健、電子散熱等等，甚至近來熱門的穿戴式裝置皆可見它的踨影，可見傳統的泵已漸漸有朝向裝置微小化的趨勢，但傳統的泵難以將尺寸縮小至公厘等級，故目前的微型流體輸送裝置僅能使用壓電泵結構來作為微型流體傳輸裝置。

而微機電泵雖可將泵的體積微小化至微米等級，但微米等級的微機電泵會因為過小的體積而限制流體傳輸量，故需要多個微機電泵搭配使用，請參考圖1所示，目前的微機電泵模塊皆是通過一個高階微處理器1做個別控制，但高階微處理器1本身成本高，且每個微機電泵2都必須要兩個微處理器接腳11連接，增加了高階微處理器1的成本，導致微機電泵模塊成本居高不下，難以普及，因此，如何降低微機電泵模塊的驅動端的成本為目前微機電泵首要克服的難關。

【發明內容】

本案的主要目的在于提供一種微機電泵模塊，通過共電極來減少微處理器的接點，減少微機電泵模塊的接點及布線，進一步簡化微機電泵模塊。

為達上述目的，本案的較廣義實施態樣為提供一種微機電泵模塊，包含：一微處理器，輸出一定電壓及一變電壓；一微機電芯片，電連接該微處理器，該微機電芯片包含：一芯片本體，為一長方形態樣，具有一長邊；多個微機電泵，設置于該芯片本體，且分別具有一第一電極及一第二電極；多個連接電極，設置于該芯片本體且鄰近該長邊，該多個連接電極分別電連接該多個微機電泵的該第一電極；以及至少一共電極，設置于該芯片本體且鄰近該長邊，該至少一共電極電連接該多個微機電泵的該第二電極；其中，該微處理器分別電連接該多個連接電極及該至少一共電極，以傳輸該定電壓至該至少一共電極以及傳輸該變電壓至該多個連接電極。

【附圖說明】

圖1為先前技術中微機電泵模塊的示意圖。

圖2為本案微機電泵模塊的示意圖。

圖3為本案微機電泵模塊的微機電芯片的第二實施例示意圖。

圖4為本案微機電泵模塊的微機電芯片的第三實施例示意圖。

圖5為本案微機電泵模塊的微機電芯片的第四實施例示意圖。

圖6為本案微機電泵模塊的微機電芯片的第五實施例示意圖。

圖7為本案微機電泵模塊的微機電芯片的第六實施例示意圖。

圖8A為本案微機電泵的電連接示意圖。

圖8B為本案微處理器輸出的控制信號的第一實施例示意圖。

圖8C為本案微處理器輸出的控制信號的第二實施例示意圖。

圖8D為本案微處理器輸出的控制信號的第三實施例示意圖。

【具體實施方式】

體現本案特征與優點的一些典型實施例將在后段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的范圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本案。