[發(fā)明專利]刷洗裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811474003.3
• 申請(qǐng)日: 2018-12-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110090824B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-04-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙珳技
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 凱斯科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B08B1/00
• 分類號(hào): B08B1/00;B08B1/02;B08B3/02;H01L21/67
• 代理公司: 北京鴻元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

本發(fā)明涉及刷洗裝置，刷洗裝置包括：清洗刷，其旋轉(zhuǎn)接觸基板的表面；扭矩感測(cè)部，其感測(cè)清洗刷的旋轉(zhuǎn)扭矩；速度控制部，當(dāng)扭矩感測(cè)部感測(cè)的清洗刷的旋轉(zhuǎn)扭矩超過(guò)預(yù)先設(shè)置的設(shè)置范圍時(shí)，其使清洗刷的旋轉(zhuǎn)速度變動(dòng)，借助于此，可以獲得提高基板的清洗效率、提高清洗效果的有利效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及刷洗裝置，更具體而言，涉及一種能夠提高基板的清洗效率、提高清洗效果的刷洗裝置。

背景技術(shù)

對(duì)顯示裝置中使用的基板或半導(dǎo)體元件制作中所使用的晶片(以下將他們統(tǒng)稱為“基板”)進(jìn)行處理后，進(jìn)行去除在處理工序中沾于表面的異物的清洗工序。

圖1及圖2圖示了以往的刷洗裝置9。以往的刷洗裝置9如果借助于基板移送部而將基板W移送到一對(duì)清洗刷10、10'之間，則一對(duì)清洗刷10、10'中某一者上下移動(dòng)10d，清洗刷10、10'以將基板W夾于之間的狀態(tài)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)并清洗基板W的表面。

基板W被進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的基板支撐部50所旋轉(zhuǎn)支撐，清洗刷10借助于驅(qū)動(dòng)部40、40'而分別向互不相同的方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，在向基板W或清洗刷10、10'中某一者供應(yīng)脫鹽水和純水的同時(shí)清洗基板W。雖然圖中未示出，通過(guò)噴嘴向基板W供應(yīng)清洗液(清洗用化學(xué)制劑)和脫鹽水。

另一方面，在刷洗裝置9中，清洗刷10、10'應(yīng)以接觸基板W表面的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)，因此，為了清洗刷10、10'順利實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)，清洗刷10、10'對(duì)基板W的負(fù)載(接觸壓力)應(yīng)可以保持在既定范圍。

可是，在清洗工序中，當(dāng)清洗刷10、10'以過(guò)度的接觸壓力接觸基板W時(shí)，存在清洗刷10、10'發(fā)生旋轉(zhuǎn)錯(cuò)誤的問(wèn)題。即，當(dāng)清洗刷10、10'以大于預(yù)先設(shè)置的設(shè)置值的接觸壓力接觸基板W，或以小于設(shè)置值的接觸壓力接觸基板W時(shí)，難以準(zhǔn)確地控制清洗刷10、10'相對(duì)于基板W的旋轉(zhuǎn)，存在難以準(zhǔn)確算出清洗刷10、10'對(duì)基板W的清洗量的問(wèn)題。

另外，就使清洗刷10、10'向相對(duì)于基板W接近或隔開(kāi)的方向10d移動(dòng)，控制由清洗刷10、10'施加于基板W的負(fù)載的方式而言，存在難以細(xì)微調(diào)節(jié)清洗刷10、10'施加于基板W的負(fù)載的問(wèn)題。

進(jìn)一步而言，就控制由清洗刷10、10'施加于基板W的負(fù)載的方式而言，當(dāng)由清洗刷10、10'施加于基板W的負(fù)載控制出錯(cuò)(接觸壓力變大)時(shí)，存在基板W表面圖案損傷或基板W破損的問(wèn)題，并存在被基板支撐部50支撐的基板W從基板支撐部脫離的問(wèn)題。

因此，最近進(jìn)行了旨在有效控制清洗刷對(duì)基板的清洗條件、提高基板清洗效率、提高清洗效果的多樣探討，但還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠，需要對(duì)此進(jìn)行開(kāi)發(fā)。

發(fā)明內(nèi)容

解決的技術(shù)問(wèn)題

本發(fā)明目的在于，提供一種能夠在清洗工序中有效調(diào)節(jié)清洗刷對(duì)基板的清洗條件的刷洗裝置。

特別是本發(fā)明目的在于，可以根據(jù)清洗刷的旋轉(zhuǎn)扭矩，調(diào)節(jié)清洗刷的旋轉(zhuǎn)速度。

另外，本發(fā)明目的在于，可以通過(guò)準(zhǔn)確地控制清洗刷的旋轉(zhuǎn)，在緩解影響基板破損的負(fù)擔(dān)的范圍內(nèi)，以既不過(guò)度也不欠缺的適宜的清洗量，控制清洗工序，確保清洗的可靠性。

另外，本發(fā)明目的在于，可以提高基板的清洗效率，提高清洗效果。

另外，本發(fā)明目的在于，可以提高穩(wěn)定性及可靠性。

技術(shù)方案

旨在達(dá)成所述本發(fā)明目的的本發(fā)明提供一種刷洗裝置，包括旋轉(zhuǎn)接觸基板表面的清洗刷、感測(cè)清洗刷的旋轉(zhuǎn)扭矩的扭矩感測(cè)部，當(dāng)扭矩感測(cè)部感測(cè)的清洗刷的旋轉(zhuǎn)扭矩超出預(yù)先設(shè)置的設(shè)置范圍時(shí)，使清洗刷的旋轉(zhuǎn)速度變動(dòng)。

發(fā)明的效果

綜上所述，根據(jù)本發(fā)明，可以在清洗工序中，有效調(diào)節(jié)清洗刷對(duì)基板的清洗條件。