[發(fā)明專利]光掃描裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811473314.8
• 申請日: 2018-12-04
• 公開（公告）號: CN109946828B
• 公開（公告）日: 2022-04-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 山田司
• 申請（專利權(quán)）人: 三美電機株式會社
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G02B26/10
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強;李平

在光掃描裝置中更加抑制振響的產(chǎn)生。本發(fā)明的光掃描裝置具備：具有光反射面的反射鏡；支撐上述反射鏡的反射鏡支撐體；配置于上述反射鏡支撐體的兩側(cè)并與上述反射鏡支撐體連接的一對驅(qū)動梁；設(shè)于上述驅(qū)動梁并使上述反射鏡繞在上述光反射面的中心通過的預(yù)定軸擺動的驅(qū)動源；以及支撐上述驅(qū)動梁的固定框，上述反射鏡和上述反射鏡支撐體的重心位于上述預(yù)定軸上。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光掃描裝置。

背景技術(shù)

一直以來，公知一種使反射鏡部繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)來掃描光的光掃描裝置。在這樣的光掃描裝置中，驅(qū)動源使用鋸齒狀波形的電壓，但有時在驅(qū)動時因反射鏡部的共振振動產(chǎn)生振響。振響的產(chǎn)生導(dǎo)致通過光掃描裝置的掃描而形成的圖像的畫質(zhì)劣化。

并且，作為通過光掃描裝置的掃描而形成的圖像的畫質(zhì)劣化的原因，公知實際的旋轉(zhuǎn)軸線相對于作為反射鏡部的旋轉(zhuǎn)軸線而設(shè)定的對稱線偏離。作為抑制實際的旋轉(zhuǎn)軸線相對于作為反射鏡部的旋轉(zhuǎn)軸線而設(shè)定的對稱線的偏離的技術(shù)的一個例子，能夠舉出反射鏡部相對于對稱線形成為一半部分的重量比另一半部分的重量重的光掃描裝置(例如參照專利文獻1)。

并且，作為抑制實際的旋轉(zhuǎn)軸線相對于作為反射鏡部的旋轉(zhuǎn)軸線而設(shè)定的對稱線的偏離的技術(shù)的另一個例子，能夠舉出一種光掃描裝置，其構(gòu)成為，多個壓電懸臂梁的與反射鏡部相鄰的第一懸臂梁由第一半部分和第二半部分構(gòu)成，第一半部分從對稱線延伸至將第一壓電懸臂梁和與第一壓電懸臂梁相鄰的第二壓電懸臂梁連結(jié)的折回部，第二半部分從對稱線延伸至折回部的相反側(cè)，并且第二半部分形成為比第一半部分重(例如參照專利文獻2)。

并且，作為抑制曲折構(gòu)造中的不必要的共振對反射鏡部的正規(guī)動作產(chǎn)生負(fù)面影響的技術(shù)的一個例子，能夠舉出折回部的厚度與未設(shè)置壓電部件的狀態(tài)下的折回部以外的部分不同的光掃描裝置(例如參照專利文獻3)。

由蛇腹構(gòu)造的DC驅(qū)動部驅(qū)動而旋轉(zhuǎn)的促動器顯現(xiàn)上下共振模式作為基本共振模式。此時，若相對于旋轉(zhuǎn)軸，重量平衡差，則施加旋轉(zhuǎn)振動，從而上下振動也放大。通常，垂直驅(qū)動波形是頻率1～120Hz左右的鋸齒波。上下的基本共振模式表現(xiàn)為300～1000Hz左右，從而鋸齒波的成分包含上下模式所含有的傾斜成分。上下模式所含有的傾斜成分成為當(dāng)反射鏡在垂直側(cè)振動時產(chǎn)生振響的原因，使光的掃描品質(zhì)變差。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻1：日本特開2015-184592號公報

專利文獻2：日本特開2016-009050號公報

專利文獻3：日本特開2017-116842號公報

然而，在上述的光掃描裝置中需求進一步抑制振響的產(chǎn)生。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述方面而完成的，其目的在于，在光掃描裝置中進一步抑制振響的產(chǎn)生。

本發(fā)明的一個方式的光掃描裝置1000具備：反射鏡110，其具有光反射面；反射鏡支撐體161，其支撐上述反射鏡；一對驅(qū)動梁170A、170B，其配置于上述反射鏡支撐體的兩側(cè)并與上述反射鏡支撐體連接；驅(qū)動源171A、171B，其設(shè)于上述驅(qū)動梁，使上述反射鏡繞在上述光反射面的中心通過的預(yù)定軸V擺動；以及固定框180，其支撐上述驅(qū)動梁，上述反射鏡和上述反射鏡支撐體的重心位于上述預(yù)定軸上。

此外，上述符號是為了使理解變得容易而標(biāo)注的，只不過是一個例子，不限定于圖示的方式。

發(fā)明的效果如下。

根據(jù)公開的技術(shù)，在光掃描裝置中，能夠進一步抑制振響的產(chǎn)生。

附圖說明

圖1是示出第一實施方式的光掃描裝置的一個例子的立體圖(其1)。

圖2是示出第一實施方式的光掃描裝置的一個例子的立體圖(其2)。