[發(fā)明專利]用于塑封微電路器件批量掃描的固定裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811472364.4 | 申請日： | 2018-12-03 |
| 公開（公告）號： | CN109490422A | 公開（公告）日： | 2019-03-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王伯淳;袁云華;張勇;王瑞崧;李先亞;馬清桃;田健;楊帆 | 申請（專利權(quán)）人： | 湖北航天技術(shù)研究院計量測試技術(shù)研究所 |
| 主分類號： | G01N29/26 | 分類號： | G01N29/26 |
| 代理公司： | 武漢開元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 42104 | 代理人： | 徐祥生 |
| 地址： | 432000*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 設(shè)備水箱 通孔陣列 外置水箱 抽水泵 裝載盤 底座 軟管連接頭 固定裝置 圓形通孔 軟管 微電路 塑封 元器件 掃描 被試器件 底座放置 工作效率 管道連通 一端連接 出水口 方盒狀 放置位 進水口 側(cè)邊 列距 行距 無損 穿過 測試 | ||
本發(fā)明涉及用于塑封微電路器件批量掃描的固定裝置，包括聲掃設(shè)備水箱，其特征是還包括底座、元器件裝載盤、外置水箱和抽水泵，底座放置在聲掃設(shè)備水箱的內(nèi)底上，底座為底及四個側(cè)邊組成的方盒狀結(jié)構(gòu)，底座上設(shè)置有裝載盤放置位和軟管連接頭，元器件裝載盤上設(shè)置有由兩行以上和兩列以上的圓形通孔組成的通孔陣列，通孔陣列的行距為4mm?7mm,通孔陣列的列距為3mm?6mm,圓形通孔的直徑為2mm?5mm,外置水箱與聲掃設(shè)備水箱之間由管道連通，抽水泵的出水口與外置水箱連接，抽水泵的進水口與軟管的一端連接，軟管的另一端穿過管道后與軟管連接頭連接。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、適應(yīng)面寬、有利于提高工作效率和測試精度并且無損被試器件。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及固定裝置，具體而言是用于塑封微電路器件批量掃描的固定裝置。
背景技術(shù)
塑封微電路器件在武器系統(tǒng)中使用越來越廣泛，超聲掃描顯微鏡逐漸在塑封微電路篩選和DPA試驗中被廣泛采用。超聲波掃描檢測技術(shù)是應(yīng)用最廣泛的無損檢測方法之一，超聲波可以穿透大部分塑封材料，并且對不同材料的粘接層非常敏感，它可以在不破壞元器件的情況下，檢查塑封微電路由于內(nèi)部分層、空洞或者外部應(yīng)力、熱脹冷縮等原因而造成的變形、裂紋等內(nèi)部潛在缺陷。
在進行批量掃描前，需要規(guī)則地擺放被試樣品，目前通常采取兩種做法：一是直接將被試樣品依次擺放到去離子水中，然后進行掃描；二是增加一平面工裝，先用防水膠帶將被試樣品固定貼于平面工裝上，然后將平面工裝置于去離子水中，再進行掃描。前者簡單，無需增添裝置，但擺放時間長、效率低，尤其是被試樣品極易在超聲檢測過程中隨著探頭移動而發(fā)生漂移，往往導(dǎo)致無法采集到穩(wěn)定的圖像；后者效率較高，但首先，膠帶固定的樣品高度落差大，會導(dǎo)致部分區(qū)域聚焦不準(zhǔn)，進而影響樣品超聲檢測圖像質(zhì)量，其次，膠帶與工裝之間難免產(chǎn)生的氣泡也將直接影響聲掃結(jié)果的判斷，另外，被試器件在膠帶上粘接或取下時，引腳容易變形或者殘留膠，影響后續(xù)使用。
針對現(xiàn)有技術(shù)的上述不足，本發(fā)明提出了一種結(jié)構(gòu)簡單、適應(yīng)面寬、有利于提高工作效率和測試精度并且無損被試器件的用于塑封微電路器件批量掃描的固定裝置。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、適應(yīng)面寬、有利于提高工作效率和測試精度并且無損被試器件的用于塑封微電路器件批量掃描的固定裝置。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：一種用于塑封微電路器件批量掃描的固定裝置，包括聲掃設(shè)備水箱，其特征是還包括底座、元器件裝載盤、外置水箱和抽水泵，底座放置在聲掃設(shè)備水箱的內(nèi)底上，底座為底及四個側(cè)邊組成的方盒狀結(jié)構(gòu)，底座上設(shè)置有裝載盤放置位和軟管連接頭，元器件裝載盤上設(shè)置有由兩行以上和兩列以上的圓形通孔組成的通孔陣列，通孔陣列的行距為4mm-7mm,通孔陣列的列距為3mm-6mm,圓形通孔的直徑為2mm-5mm,外置水箱與聲掃設(shè)備水箱之間由管道連通，抽水泵的出水口與外置水箱連接，抽水泵的進水口與軟管的一端連接，軟管的另一端穿過管道后與軟管連接頭連接。
進一步地，所述抽水泵放置于外置水箱內(nèi)。
進一步地，所述元器件裝載盤與裝載盤放置位之間設(shè)置有密封膠圈。
進一步地，所述元器件裝載盤上設(shè)置有提拔。
進一步地，所述通孔陣列由30行和35列圓形通孔組成，通孔陣列的行距為5mm,通孔陣列的列距為5mm,圓形通孔的直徑為3mm。
本發(fā)明工作時，被試器件放置在元器件裝載盤上并且蓋住一個以上的圓形通孔，通過抽水泵使設(shè)備水箱、底座和外置水箱中的液體循環(huán)，從而在通孔內(nèi)形成負(fù)壓，將被試器件牢牢吸附在元器件裝載盤上。
本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、適應(yīng)面寬、有利于提高工作效率和測試精度并且無損被試器件。
附圖說明
圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明的元器件裝載盤結(jié)構(gòu)示意圖；
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