[發(fā)明專(zhuān)利]一種多晶硅棒破碎的裝置和方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811469114.5
• 申請(qǐng)日: 2018-11-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111229421A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李力;劉逸楓;付緒光;沈峰;阮繼政;郭磊;田野;徐浩;陳其國(guó)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B02C19/18
• 分類(lèi)號(hào): B02C19/18;B02C23/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.本發(fā)明涉及一多晶硅棒破碎的裝置和方法，其特征包括采用電阻加熱爐裝置將多晶硅棒進(jìn)行預(yù)熱，預(yù)熱后用電磁線圈采用電磁感應(yīng)方法將多晶硅棒進(jìn)一步加熱，將加熱后的多晶硅棒進(jìn)行用液氮或者高純水進(jìn)行快速冷卻，以使多晶硅棒內(nèi)部產(chǎn)生應(yīng)力，從而破碎多晶硅棒。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一多晶硅棒破碎的裝置和方法，其特征在于，所述采用的加熱多晶硅棒的裝置是電磁加熱。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一多晶硅棒破碎的裝置和方法，其特征在于，所述多晶硅棒在電磁加熱硅棒前，用電阻加熱爐進(jìn)行預(yù)熱。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一多晶硅棒破碎的裝置和方法，其特征在于，電磁加熱多晶硅的溫度為350-850℃。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一多晶硅棒破碎的裝置和方法，其特征在于，用電磁加熱硅棒加熱前，用電阻加熱爐將硅棒預(yù)熱至150-350℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一多晶硅棒破碎的裝置和方法，其特征在于，加熱后的硅棒用液氮或者高純水進(jìn)行快速冷卻。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一多晶硅棒破碎的裝置和方法，其特征在于，電磁加熱線圈由2-10個(gè)線圈組成。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一多晶硅棒破碎的裝置和方法，其特征在于，用電磁線圈之間有由石英或氮化硅、碳化硅、三氧化二鋁制備的支撐裝置支撐。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一多晶硅棒破碎的裝置和系統(tǒng)，其特征在于，采用電磁線圈加熱至所需溫度后，保持恒溫15-60分鐘。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一多晶硅棒破碎的裝置和系統(tǒng)，其特征在于，多晶硅棒加熱速率控制在50℃/小時(shí)-200℃/小時(shí)。

11.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一多晶硅棒破碎的裝置和系統(tǒng)，其特征在于，多晶硅棒預(yù)熱速率控制在50℃/小時(shí)-200℃/小時(shí)。