[發明專利]一種金剛石的表面金屬化工藝有效
| 申請號： | 201811468848.1 | 申請日： | 2018-12-03 |
| 公開（公告）號： | CN109628884B | 公開（公告）日： | 2021-05-11 |
| 發明（設計）人： | 邱瑜銘;董書山 | 申請（專利權）人： | 江蘇鋒泰工具有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/18 | 分類號： | C23C14/18;C23C14/02;C23C24/00;C23C28/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 212300 江蘇省丹*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 金剛石 表面 金屬化 工藝 | ||
1.一種金剛石的表面金屬化工藝，其特征在于包括以下步驟：
(1)對金剛石顆粒基材進行等離子蝕刻處理；所述等離子蝕刻采用Ar和CH4作為蝕刻氣體，等離子蝕刻在等離子體蝕刻反應室中進行，氣壓為1.0～20Pa，Ar的流量為50～120sccm，CH4的流量為5～30sccm；蝕刻后在500～800℃進行加熱處理，時間為3～5min；
(2)通過蒸鍍工藝形成有含初生TiC的Ti合金層，所述Ti合金層中含有5.0～30.0wt％的第一合金成分，所述第一合金為Cu和/或Ni；
(3)在所述Ti合金層表面包覆Fe-Cu預合金粉末層。
2.根據權利要求1所述的表面金屬化工藝，其特征在于：在等離子蝕刻處理前，對金剛石顆粒進行預處理，預處理包括潔凈和粗化處理。
3.根據權利要求1所述的表面金屬化工藝，其特征在于：所述預合金粉末層采用粘結劑在Ti合金層表面包覆形成。
4.根據權利要求3所述的表面金屬化工藝，其特征在于：所述粘結劑為聚丙烯酸銨鹽、聚乙烯醇或聚乙烯吡咯烷酮。
5.根據權利要求1所述的表面金屬化工藝，其特征在于：所述Fe-Cu預合金粉末中含有30～65wt％的Cu，10～60wt％的Fe。
6.根據權利要求5所述的表面金屬化工藝，其特征在于：所述Fe-Cu預合金粉末中含有5.0～25.0wt％的Co。
7.一種金剛石復合顆粒，其特征在于由權利要求1～6任一項所述的表面金屬化工藝制備得到。
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