[發(fā)明專利]方形晶棒磨倒一體機(jī)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811468768.6 | 申請日: | 2018-12-03 |
| 公開(公告)號(hào): | CN109333290B | 公開(公告)日: | 2023-09-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳五奎;陳嘉豪;任超;曹衛(wèi)宏;陳輝 | 申請(專利權(quán))人: | 樂山新天源太陽能科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | B24B27/00 | 分類號(hào): | B24B27/00;B24B7/22;B24B9/06;B24B41/06;B24B41/02;B24B47/12 |
| 代理公司: | 成都點(diǎn)睛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51232 | 代理人: | 李玉興 |
| 地址: | 614000 四川省*** | 國省代碼: | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 方形 晶棒磨倒 一體機(jī) | ||
本發(fā)明公開了一種能夠一次性同時(shí)完成晶棒四個(gè)角的倒角,并且能夠?qū)崿F(xiàn)晶棒兩個(gè)對側(cè)面同時(shí)磨削,提高工作效率,降低成本的方形晶棒磨倒一體機(jī)。該方形晶棒磨倒一體機(jī)包括機(jī)體,所述機(jī)體內(nèi)設(shè)置有橫向工作通腔;所述橫向工作通腔的底部設(shè)置有晶棒夾緊裝置,所述機(jī)體的一端設(shè)置有放料窗口;所述機(jī)體另一端的兩側(cè)均設(shè)置有磨削裝置以及倒角裝置;所述磨削裝置位于放料窗口與倒角裝置之間;所述磨削裝置具有磨削頭,所述磨削頭延伸到橫向工作通腔內(nèi);所述倒角裝置具有的倒角砂輪延伸到橫向工作通腔內(nèi)。采用該方形晶棒磨倒一體機(jī)能夠提高晶棒的磨面、倒角效率,同時(shí)能夠減少定位誤差,能夠較少硅料的浪費(fèi)。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及的晶棒加工,尤其是一種方形晶棒磨倒一體機(jī)。
背景技術(shù)
眾所周知的:多晶硅的硅棒一般為矩形硅棒,單晶硅的硅棒為圓柱形。目前,國內(nèi)外針對單晶硅棒的切方、磨面和圓角的加工過程,其傳統(tǒng)的加工方式是單獨(dú)的蘭道工序,即分別采用三種不同的設(shè)備流轉(zhuǎn)完成單晶硅棒的整個(gè)加工過程。實(shí)際操作時(shí),線開方機(jī)通常需要采用粘膠的方式對25根單晶硅棒同時(shí)進(jìn)行開方處理,再將開方后的硅棒單獨(dú)由外圓磨床進(jìn)行圓角磨削,最后再送入平面磨床進(jìn)行表面磨削、拋光。整個(gè)加工過程需要三種不同功能的加工設(shè)備,硅棒需要頻繁地在不同設(shè)備之間進(jìn)行人工搬運(yùn),而且加工前的裝夾和作為操作一般都有工人完成,這樣就帶來了定位誤差。
在對多晶硅棒進(jìn)行磨削處理時(shí),現(xiàn)有的磨削裝置一般通過夾緊多晶硅棒的一端,對晶棒進(jìn)行磨面,由于夾緊端無法實(shí)現(xiàn)磨面,因此晶棒磨面一端后,需要夾緊另一端對未磨面的一端進(jìn)行磨面,從而使得加工工藝復(fù)雜,加工效率低。
在多晶硅棒進(jìn)行磨削處理后,由于多晶硅的硅片需要進(jìn)行倒角,為了減少分別對每片硅片的倒角,因此需要對方形的硅棒進(jìn)行倒角,現(xiàn)有的硅棒倒角一般是對硅棒的上端的兩個(gè)角進(jìn)行倒角,對硅棒進(jìn)行翻置再對剩下的兩個(gè)角進(jìn)行倒角,從而使得加工工藝復(fù)雜,加工效率低,加工成本較高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠一次性同時(shí)完成晶棒四個(gè)角的倒角,并且能夠?qū)崿F(xiàn)晶棒兩個(gè)對側(cè)面同時(shí)磨削,提高工作效率,降低成本的方形晶棒磨倒一體機(jī)。
本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:方形晶棒磨倒一體機(jī),包括機(jī)體,所述機(jī)體內(nèi)設(shè)置有橫向工作通腔;
所述橫向工作通腔的底部設(shè)置有晶棒夾緊裝置,所述機(jī)體的一端設(shè)置有放料窗口;所述機(jī)體另一端的兩側(cè)均設(shè)置有磨削裝置以及倒角裝置;所述磨削裝置位于放料窗口與倒角裝置之間;
所述磨削裝置具有磨削頭,所述磨削頭延伸到橫向工作通腔內(nèi);所述倒角裝置具有的倒角砂輪延伸到橫向工作通腔內(nèi);
所述倒角裝置包括底座,所述底座上設(shè)置有滑動(dòng)箱;所述滑動(dòng)箱上方設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī);所述滑動(dòng)箱內(nèi)設(shè)置有變速裝置,所述變速裝置具有轉(zhuǎn)動(dòng)輸入軸以及轉(zhuǎn)動(dòng)輸出軸;所述轉(zhuǎn)動(dòng)輸入軸與驅(qū)動(dòng)電機(jī)傳動(dòng)連接,所述轉(zhuǎn)動(dòng)輸出軸的一端設(shè)置有錐齒;
所述錐齒的上方和下方均設(shè)置有安裝架,所述安裝架上設(shè)置有傳動(dòng)軸;所述傳動(dòng)軸一端設(shè)置有從動(dòng)錐齒,另一端設(shè)置有倒角砂輪,所述倒角砂輪上設(shè)置有傾斜倒角面;
所述底座固定安裝在機(jī)體外側(cè)的側(cè)壁上;所述滑動(dòng)箱滑動(dòng)安裝在底座上;所述轉(zhuǎn)動(dòng)輸出軸穿過機(jī)體延伸到橫向工作通腔內(nèi);
所述磨削裝置包括安裝座;所述安裝座上滑動(dòng)安裝有變速箱;所述變速箱上方設(shè)置有磨削驅(qū)動(dòng)電機(jī);所述磨削驅(qū)動(dòng)電機(jī)與變速箱傳動(dòng)連接;所述變速箱具有輸出傳動(dòng)軸,所述輸出傳動(dòng)軸上設(shè)置有磨削頭,所述磨削頭上設(shè)置有滾磨砂輪;
所述晶棒夾緊裝置,包括底板;所述底板上設(shè)置有兩個(gè)豎向伸縮裝置;所述豎向伸縮裝置上端設(shè)置有支撐板;所述支撐板的兩端設(shè)置有擋板;所述支撐板上設(shè)置有兩個(gè)滑動(dòng)夾塊;所述支撐板上設(shè)置有滑槽;所述滑動(dòng)夾塊下端設(shè)置有凸塊;
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