[發明專利]一種電潤濕介電液滴致動裝置及其制造方法

有效

• 申請號: 201811468606.2
• 申請日: 2018-12-03
• 公開（公告）號: CN109603931B
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: 馬漢彬;蘇陽;阿洛基亞·內森
• 申請（專利權）人: 廣東奧素液芯微納科技有限公司
• 主分類號: B01L3/00
• 分類號: B01L3/00
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 王紅英;張瑞

1.一種形成包括一個或多個面(50)的電潤濕介電液滴致動裝置(1)的方法，該方法包括：

使用增材制造工藝，沉積非導電材料以形成基板(3)和圍繞基板的微流體結構(16)；沉積導電材料，用于形成嵌入基板內的連接端(13)和電極(8)的陣列；沉積介電和疏水材料，以形成覆蓋電極和基板的介電和疏水層(15)；并且

將具有第一側面和第二側面的蓋子(23)設置在微流體結構上并且在電極上方留下空間(30)；

其中蓋子的第二側面具有導電和疏水層；并且蓋子的第二側面面對所述電極的陣列。

2.如權利要求1所述的方法，所述方法還包括：

使用所述增材制造工藝，沉積介電和疏水材料以在所述介電和疏水層(15)上形成功能結構(36)。

3.一種形成電潤濕介電液滴致動裝置(1)的方法，所述電潤濕介電液滴致動裝置(1)包括功能結構(36)，所述方法包括：

使用增材制造工藝，沉積非導電材料以形成基板(3)和圍繞基板的微流體結構(16)；沉積導電材料，用于形成嵌入基板內的連接端(13)和電極(8)的陣列；沉積介電和疏水材料，形成覆蓋電極和基板的第一介電和疏水層(15)；沉積介電和疏水材料，以在第一介電和疏水層上形成功能結構；并且

將具有第一側面和第二側面的蓋子(23)設置在微流體結構和功能結構上，并在電極上留下空間(30)；

其中蓋子的第二側面具有導電和疏水層；并且蓋子的第二側面面對所述電極的陣列。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的方法，其中所述增材制造工藝包括多通道墨水直接打印。

5.根據權利要求1所述的方法，所述增材制造工藝的至少一部分包括選擇性激光燒結。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的方法，其中所述增材制造工藝的至少一部分包括立體光刻。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的方法，其中所述增材制造工藝的至少一部分包括熔合絲制造。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的方法，其中所述增材制造工藝的至少一部分包括基于擠出式的3D打印。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的方法，其中每種材料同時沉積。

10.如權利要求1所述的方法，其特征在于，每種材料是連續沉積的。

11.根據權利要求1至10中任一項所述的方法，其中所述非導電材料，所述導電材料以及所述介電和疏水材料各自使用多個噴嘴(35)沉積。

12.根據權利要求11所述的方法，其中所述多個噴嘴中的每個噴嘴配置成沉積不同的材料。

13.根據權利要求11所述的方法，其中所述多個噴嘴中的任何數量的噴嘴配置成沉積相同的材料。

14.根據權利要求1至13中任一項所述的方法，其中存在多個面(50)，所述多個面構造成允許一個或多個液滴(2)在相鄰面的空間之間移動；并且至少一個面與另一個面位于不同的平面上。

15.根據權利要求1至14中任一項所述的方法，其中所述多個面(50)形成盒狀結構。

16.一種采用權利要求1所述的方法形成的電潤濕介電液滴致動裝置(1)，包括：

多個面(50)，其中每個面包括：

電極(8)的陣列；

覆蓋電極的介電和疏水層(15)；

蓋子(23)，具有第一側面和第二側面，蓋子被設置在電極上方并留下空間(30)；

所述多個面設置成允許一個或多個液滴(2)在相鄰面的空間之間移動；并且其中至少一個面位于與第二面不同的平面上。