[發(fā)明專利]光聲傳感器、用于檢測(cè)氣密性的方法和系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811468229.2
• 申請(qǐng)日: 2018-12-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109990956B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M·埃貝爾;F·約斯特;S·科爾布
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01M3/24
• 分類號(hào): G01M3/24;G01M3/38
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 鄭立柱;張鵬

1.一種光聲傳感器，包括：

氣密密封的并以氣體(110)填充的容積(102)；

氣體激勵(lì)設(shè)備(104)，所述氣體激勵(lì)設(shè)備構(gòu)造用于激勵(lì)所述容積(102)內(nèi)部的所述氣體(110)；

麥克風(fēng)(106)，所述麥克風(fēng)構(gòu)造用于輸出麥克風(fēng)信號(hào)(112)，所述麥克風(fēng)信號(hào)(112)取決于受所述氣體激勵(lì)設(shè)備(104)激勵(lì)的氣體(110)；以及

檢測(cè)單元(108)，所述檢測(cè)單元構(gòu)造用于基于所述麥克風(fēng)信號(hào)(112)來(lái)檢測(cè)所述容積(102)的氣密性，

其中所述氣體激勵(lì)設(shè)備(104)布置在所述容積(102)內(nèi)部，并且

其中所述氣體激勵(lì)設(shè)備(104)包括光電二極管，所述光電二極管能夠加載預(yù)定的電信號(hào)，以用于熱學(xué)地激勵(lì)所述容積(102)的所述氣體(110)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光聲傳感器，其中

以所述氣體(110)填充的所述容積(102)是常規(guī)不透氣的、封閉的腔室。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光聲傳感器，其中

所述氣體激勵(lì)設(shè)備(104)包括加熱裝置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光聲傳感器，其中

所述氣體激勵(lì)設(shè)備(104)設(shè)定用于熱學(xué)地激勵(lì)所述氣體(110)，并且依據(jù)所述氣體(110)的熱聲特性來(lái)輸出所述麥克風(fēng)信號(hào)(112)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光聲傳感器，其中

所述氣體激勵(lì)設(shè)備(104)包括電阻元件，所述電阻元件能夠通過(guò)加載預(yù)定的電信號(hào)而被暖化，以用于激勵(lì)氣體(110)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光聲傳感器，其中

所述電阻元件包括位于所述容積(102)內(nèi)部的溫度傳感器的至少一部分。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光聲傳感器，其中

所述溫度傳感器是PTC溫度傳感器或者PT1000溫度傳感器。

8.根據(jù)權(quán)利要求5至7中任一項(xiàng)所述的光聲傳感器，其中

所述預(yù)定的電信號(hào)具有預(yù)定的電壓和/或預(yù)定的頻率和/或預(yù)定的占空比。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光聲傳感器，其中

所述檢測(cè)單元(108)具有參考信號(hào)，所述參考信號(hào)是麥克風(fēng)信號(hào)，所述麥克風(fēng)信號(hào)在預(yù)定的校準(zhǔn)情況下通過(guò)由氣密容積(102)的所述氣體激勵(lì)設(shè)備(104)激勵(lì)的所述氣體(110)引起。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光聲傳感器，其中

所述檢測(cè)單元(108)包括輸出單元，所述輸出單元設(shè)計(jì)用于在所述麥克風(fēng)信號(hào)(112)位于所述參考信號(hào)周圍的預(yù)定的誤差區(qū)域內(nèi)的情況下，輸出具有以下信息的信號(hào)：所述容積(102)是氣密的。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光聲傳感器，其中

所述預(yù)定的誤差區(qū)域?qū)?yīng)于幅度區(qū)域，所述幅度區(qū)域包括所述參考信號(hào)的幅度的預(yù)定的偏差。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光聲傳感器，其中

所述預(yù)定的偏差包括10％，并且所述誤差區(qū)域?qū)?yīng)于幅度區(qū)域，在所述幅度區(qū)域中所述幅度位于所述參考信號(hào)的幅度的90％和110％之間。

13.根據(jù)權(quán)利要求9至12中任一項(xiàng)所述的光聲傳感器，其中

所述檢測(cè)單元(108)包括輸出單元，所述輸出單元構(gòu)造用于在所述麥克風(fēng)信號(hào)位于不包括所述參考信號(hào)的預(yù)定的故障區(qū)域內(nèi)時(shí)，輸出具有以下信息的信號(hào)：所述容積(102)是不密封的。

14.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光聲傳感器，其中

所述檢測(cè)單元(108)包括輸出單元，所述輸出單元構(gòu)造用于在所述麥克風(fēng)信號(hào)的時(shí)間變化大于預(yù)定的誤差值時(shí)，輸出具有以下信息的信號(hào)：所述容積(102)是不密封的。