[發明專利]一種沉積裝置及制備熱解炭的方法

有效

• 申請號: 201811466903.3
• 申請日: 2018-12-03
• 公開（公告）號: CN109371379B
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 戴煜;呂攀;李志國;胡祥龍
• 申請（專利權）人: 湖南頂立科技有限公司
• 主分類號: C23C16/26
• 分類號: C23C16/26;C23C16/458
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.一種沉積裝置，其特征在于，包括轉動軸(5)、進氣通道(7)、筒體(1)和位于所述筒體(1)內的沉積基板(4)，所述筒體(1)上設有蓋板(3)，所述蓋板(3)上開設有通孔(9)；

所述沉積基板(4)與所述轉動軸(5)固定連接，所述沉積基板(4)與所述蓋板(3)相對設置，所述筒體(1)與所述進氣通道(7)連通；

還包括導流桿(6)，所述導流桿(6)與所述沉積基板(4)固定連接，所述導流桿(6)從所述蓋板( 3) 的開孔處伸出所述筒體(1)，所述導流桿(6)與所述轉動軸(5)分別位于所述沉積基板(4)的兩側。

2.根據權利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，所述導流桿(6)與所述轉動軸(5)同軸設置，所述轉動軸(5)與所述沉積基板(4)所在平面垂直。

3.根據權利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，還包括爐體(2)，所述爐體(2)位于所述筒體(1)的外部。

4.根據權利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，還包括電機，所述轉動軸(5)與所述電機相連，所述電機用于驅動所述轉動軸(5)轉動。

5.根據權利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，所述通孔(9)的直徑范圍為25-125mm，所述沉積基板(4)的直徑范圍為50-200mm。

6.根據權利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，所述進氣通道(7)用于通入載氣和碳源氣體。

7.一種利用權利要求1-6中任意一項所述的沉積裝置制備熱解炭的方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1，向所述筒體( 1) 內通入載氣；

S2，將所述筒體( 1) 內的溫度升至1300～1500℃，調整所述轉動軸(5)轉速為10～30r/min，向所述筒體(1)內通入碳源氣體和載氣的混合氣體，保持所述筒體(1)內壓力為70MPa～100MPa，沉積20～40h；

S3，停止通入碳源氣體，繼續通入載氣，降溫后得到所述熱解炭。

8.根據權利要求7所述的制備熱解炭的方法，其特征在于，所述載氣和所述碳源氣體組成的混合氣體的流量范圍為15～30L/min，其中所述混合氣體中所述碳源氣體的質量濃度為40-70％。

9.根據權利要求8所述的制備熱解炭的方法，其特征在于，所述碳源氣體為丙烯、丙烷、乙炔中的一種或幾種。