[發(fā)明專利]石英吸筆焊接方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811460999.2
• 申請日: 2018-12-01
• 公開（公告）號: CN109574475A
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 藍呈;劉建東
• 申請（專利權(quán)）人: 上海強華實業(yè)股份有限公司
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00;C03B23/203
• 代理公司: 北京力量專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11504
• 代理人: 宋林清

一種石英吸筆焊接方法，包括：1、上、下透明石英片數(shù)控加工后火焰拋光后退火處理；2、上、下透明石英片機械拋光至鏡面狀態(tài)；3、在用氫氧氣火焰把上、下透明石英片融合在一起；4、在用氫氧氣火焰燒至上透明石英片的同時打開真空泵抽真空，在電機帶動轉(zhuǎn)臺自動旋轉(zhuǎn)的同時，讓其與下透明石英片融合在一起。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造工藝領(lǐng)域，特別涉及一種石英吸筆焊接方法。

背景技術(shù)

在8英寸以上集成電路硅片擴散硅片制程中，需要石英吸筆做為傳輸載具。現(xiàn)有加工工藝是用氫氧氣火焰加熱直徑的焊棒來連接上下層石英片，以達到中間帶有凹槽，一側(cè)帶有吸氣孔，另一側(cè)帶有吸氣孔的石英吸筆產(chǎn)品。目前工藝對產(chǎn)品外觀存在凹凸，且成品率只有20％。這是因為焊接過程容易造成變形，一旦變形會使得上下石英片會粘合在一起。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種石英吸筆焊接方法，該方法提高了石英吸筆的焊接良率。

本發(fā)明的實施例之一，一種石英吸筆焊接方法，采用石英吸筆焊接裝置實現(xiàn)該方法，所述的焊接裝置包括：

轉(zhuǎn)盤，該轉(zhuǎn)盤有電機帶動而旋轉(zhuǎn)；

火焰槍支撐架，該火焰槍支撐架與轉(zhuǎn)盤的中心支撐套連接，

火焰槍，安裝在火焰槍支撐架的上部，

石英吸筆包括的上透明石英片、不透明石英片和下透明石英片，依次層疊后安置在轉(zhuǎn)盤的中心轉(zhuǎn)軸的頂部，轉(zhuǎn)盤的中心轉(zhuǎn)軸穿過轉(zhuǎn)盤的中心支撐套，中心支撐套套在中心轉(zhuǎn)軸外部，

真空泵，安置在轉(zhuǎn)盤上，用于抽取真空，

冷水冷凝器，一端連接真空泵連接，另一端連接第二透明石英部件。

對于石英吸筆的焊接方法包括：

1、上、下透明石英片數(shù)控加工后火焰拋光、退火處理；

2、上、下透明石英片機械拋光至鏡面狀態(tài)；

3、在用氫氧氣火焰把上、下透明石英片融合在一起；

4、在用氫氧氣火焰燒至上透明石英片的同時打開真空泵抽真空，在電機帶動轉(zhuǎn)臺自動旋轉(zhuǎn)的同時，讓其與下透明石英片融合在一起。

本發(fā)明采用吸真空的原理，先把兩側(cè)石英片機械拋光至鏡面狀態(tài)后，通過化學(xué)清洗后，在氫氧氣火焰下用真空泵把兩片石英片吸附在一起。成品后外觀呈一條，成品率在80％以上。

附圖說明

通過參考附圖閱讀下文的詳細描述，本發(fā)明示例性實施方式的上述以及其他目的、特征和優(yōu)點將變得易于理解。在附圖中，以示例性而非限制性的方式示出了本發(fā)明的若干實施方式，其中：

圖1本發(fā)明實施例中焊接裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2本發(fā)明實施例中焊接裝置正視圖。

1——火焰槍，2——火焰槍支撐架，3——冷水冷凝器，4——轉(zhuǎn)盤，由電機帶動的可旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)盤。

5——真空泵，6——第一透明石英部件，7——第二透明石英部件，8——不透明石英部件。

具體實施方式

根據(jù)一個或者多個實施例，如圖1和2所示，一種石英吸筆焊接裝置，該裝置包括：轉(zhuǎn)盤，該轉(zhuǎn)盤有電機帶動而旋轉(zhuǎn)；火焰槍支撐架，該火焰槍支撐架與轉(zhuǎn)盤的中心支撐套連接；火焰槍，安裝在火焰槍支撐架的上部；第一透明石英部件、不透明石英部件和第二透明石英部件，依次層疊后安置在轉(zhuǎn)盤的中心轉(zhuǎn)軸的頂部，轉(zhuǎn)盤的中心轉(zhuǎn)軸穿過轉(zhuǎn)盤的中心支撐套，中心支撐套套在中心轉(zhuǎn)軸外部；真空泵，安置在轉(zhuǎn)盤上；冷水冷凝器，一端連接真空泵連接，另一端連接第二透明石英部件。第一透明石英部件和第二透明石英部件可以是上、下透明石英片。