[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體發(fā)光元件有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811460342.6 | 申請(qǐng)日: | 2018-12-01 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN109599467B | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-09-29 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王星河 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 王星河 |
| 主分類號(hào): | H01L33/08 | 分類號(hào): | H01L33/08;H01L33/06 |
| 代理公司: | 暫無(wú)信息 | 代理人: | 暫無(wú)信息 |
| 地址: | 362000 福建省*** | 國(guó)省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 半導(dǎo)體 發(fā)光 元件 | ||
1.一種半導(dǎo)體發(fā)光元件,其特征在于依次包括襯底、n型氮化物半導(dǎo)體,多量子阱,V-pits,PbSe/InPAs核殼量子點(diǎn),Cd3P2/InP核殼量子點(diǎn)以及p型氮化物半導(dǎo)體,其特征在于所述PbSe/InPAs核殼量子點(diǎn)發(fā)出紅光;所述Cd3P2/InP核殼量子點(diǎn)發(fā)出綠光,所述多量子阱發(fā)出藍(lán)光,從而在同一外延片內(nèi)形成發(fā)出紅光、藍(lán)光和綠光的半導(dǎo)體發(fā)光元件;所述PbSe/InPAs核殼量子點(diǎn)通過(guò)控制Mn和Fe元素的濃度和PbSe/InPAs核殼量子點(diǎn)核層和殼層的厚度及其比例可調(diào)控量子點(diǎn)發(fā)光波長(zhǎng)為600~750 nm;所述Cd3P2/InP核殼量子點(diǎn)通過(guò)控制Mn和Fe元素的濃度和Cd3P2/InP核殼量子點(diǎn)核層和殼層的厚度及其比例可調(diào)控量子點(diǎn)發(fā)光波長(zhǎng)為500~600 nm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種半導(dǎo)體發(fā)光元件,其特征在于:所述V-pits由第一V-pits和第二V-pits組成,所述PbSe/InPAs核殼量子點(diǎn)和Cd3P2/InP核殼量子點(diǎn)位于V-pits內(nèi)部;所述第一V-pits內(nèi)具有PbSe/InPAs核殼量子點(diǎn)發(fā)出紅光;所述第二V-pits內(nèi)具有Cd3P2/InP核殼量子點(diǎn)發(fā)出綠光;所述第一V-pits和第二V-pits之間的多量子阱發(fā)出藍(lán)光,從而在同一外延片內(nèi)形成紅光、綠光和藍(lán)光三基色的發(fā)光元件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種半導(dǎo)體發(fā)光元件,其特征在于:所述PbSe/InPAs核殼量子點(diǎn)還可摻雜Mn、Fe元素進(jìn)行波長(zhǎng)調(diào)控,通過(guò)控制Mn和Fe元素的濃度控制PbSe/InPAs核殼量子點(diǎn)的發(fā)光波長(zhǎng);所述Mn和Fe摻雜元素在PbSe/InPAs核殼量子點(diǎn)的摻雜濃度為1.0 E6cm-3~1.0 E21cm-3。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種半導(dǎo)體發(fā)光元件,其特征在于:所述Cd3P2/InP核殼量子點(diǎn)還可摻雜Mn和Fe元素進(jìn)行波長(zhǎng)調(diào)控,通過(guò)控制Mn和Fe元素的濃度控制Cd3P2/InP核殼量子點(diǎn)的發(fā)光波長(zhǎng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種半導(dǎo)體發(fā)光元件,其特征在于:所述第一V-pits內(nèi)具有PbSe/InPAs核殼量子點(diǎn),PbSe為核層,直徑為t1,InPAs為殼層,厚度為t2,殼層包覆住核層,其中5 nm≤t1, t2≤100 nm,調(diào)控t1和t2的厚度及其比例可調(diào)控量子點(diǎn)發(fā)光波長(zhǎng)為600~750 nm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種半導(dǎo)體發(fā)光元件,其特征在于:Cd3P2/InP核殼量子點(diǎn),Cd3P2為核層,直徑為t3,InP為殼層,厚度為t4,5 nm≤t3, t4≤100 nm,調(diào)控t3和t4的厚度及其比例可調(diào)控量子點(diǎn)發(fā)光波長(zhǎng)為500~600 nm。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種半導(dǎo)體發(fā)光元件,其特征在于:所述第一V-pits和第二V-pits的開(kāi)口尺寸為50~500 nm,所述PbSe/InPAs核殼量子點(diǎn)和Cd3P2/InP核殼量子點(diǎn)的直徑30~300 nm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種半導(dǎo)體發(fā)光元件,其特征在于:所述多量子阱為InxGa1-xN/GaN量子阱,In組分0.15x0.35,所述多量子阱發(fā)出藍(lán)光,波長(zhǎng)為400~500 nm。
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