[發(fā)明專利]基板加工裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811456075.5
• 申請(qǐng)日: 2018-11-30
• 公開（公告）號(hào): CN110027118A
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中田勝喜;谷垣內(nèi)平道
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): B28D1/00
• 分類號(hào): B28D1/00;B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 張晶;謝順星

技術(shù)問題：在基板加工裝置中，提高基板分?jǐn)嗟哪芰Α＝鉀Q方案：在基板加工裝置(1)中，劃線形成裝置(3)對(duì)基板(100)形成相互正交的多個(gè)第一劃線(S1)和多個(gè)第二劃線(S2)。第一分?jǐn)嘌b置(7)通過沿著多個(gè)第一劃線(S1)分?jǐn)嗷?100)，從而形成多個(gè)條狀基板(111)。吸附旋轉(zhuǎn)裝置(8)使多個(gè)條狀基板(111)在俯視下旋轉(zhuǎn)90度。第二分?jǐn)嘌b置(9)配置于第一分?jǐn)嘌b置(7)的輸送方向下游側(cè)，且通過沿著多個(gè)第二劃線(S2)分?jǐn)喽鄠€(gè)條狀基板(111)，從而形成多個(gè)單位基板(113)。輸送裝置(29)將多個(gè)條狀基板(111)從第一分?jǐn)嘌b置(7)向第二分?jǐn)嘌b置(9)輸送。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種基板加工裝置，尤其涉及經(jīng)兩次來分?jǐn)嗷宓幕寮庸ぱb置。

背景技術(shù)

在以往的將脆性材料基板(以下簡稱為基板)分割成多個(gè)單位基板的方法中，使用刀輪(也稱為劃線輪)、固定刀片、或者激光束等劃線單元在基板的表面形成相互正交的X方向以及Y方向的劃線，之后，沿著該劃線施加外力而斷開(例如參照專利文獻(xiàn)1)。

專利文獻(xiàn)1所記載的基板分?jǐn)嘌b置具備工作臺(tái)2、斷開桿10。工作臺(tái)2載置作為加工對(duì)象的基板W并能夠旋轉(zhuǎn)，能夠沿著水平的導(dǎo)軌3在Y方向上移動(dòng)。在工作臺(tái)2的上方設(shè)置有在X方向上水平延伸的梁(橫框)7，在該梁7上安裝有與該梁平行并在X方向上延伸的板狀的斷開桿10。斷開桿10能夠通過由液壓缸11驅(qū)動(dòng)的升降軸12而升降。

在劃線工序中，對(duì)于長方形的基板W，利用劃線單元在表面形成相互正交的多個(gè)劃線S1、S2。

在基板分?jǐn)喙ば蛑校紫龋詣澗€S1、S2在下表面的方式將基板W載置于工作臺(tái)2。接著，使斷開桿10從基板W的上方向劃線S1下降并按壓基板使之稍微呈V字狀彎曲，從而使劃線S1的裂縫伸展進(jìn)而斷開基板W。在斷開所有的劃線S1后，將工作臺(tái)2旋轉(zhuǎn)90度，以使劃線S2朝向X方向。然后，與上述同樣地使斷開桿10下降來斷開劃線S2。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利公開2016-120725號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

(一)要解決的技術(shù)問題

在上述的基板分?jǐn)嘌b置中，由于在進(jìn)行了第一劃線的分?jǐn)嘀筮M(jìn)行第二劃線的分?jǐn)啵虼嘶宸謹(jǐn)嗟哪芰Σ粔蚋摺?/p>

本發(fā)明的目的在于，在基板加工裝置中提高基板分?jǐn)嗟哪芰Α?/p>

(二)技術(shù)方案

下面，作為用于解決上述技術(shù)問題的手段而說明多個(gè)方式。這些方式可以根據(jù)需要任意組合。

本發(fā)明的一個(gè)方面的基板加工裝置具備劃線形成裝置、第一分?jǐn)嘌b置、旋轉(zhuǎn)裝置、第二分?jǐn)嘌b置、輸送裝置。

劃線形成裝置對(duì)基板形成相互正交的多個(gè)第一劃線和多個(gè)第二劃線。

第一分?jǐn)嘌b置通過沿著多個(gè)第一劃線分?jǐn)嗷澹瑥亩纬啥鄠€(gè)條狀基板。

旋轉(zhuǎn)裝置使多個(gè)條狀基板在俯視下旋轉(zhuǎn)90度。

第二分?jǐn)嘌b置配置于第一分?jǐn)嘌b置的輸送方向下游側(cè)，且通過沿著多個(gè)第二劃線分?jǐn)喽鄠€(gè)條狀基板，從而形成多個(gè)單位基板。

輸送裝置將多個(gè)條狀基板從第一分?jǐn)嘌b置向第二分?jǐn)嘌b置輸送。

在該裝置中，當(dāng)?shù)谝环謹(jǐn)嘌b置形成多個(gè)條狀基板時(shí)，與此同時(shí)，第二分?jǐn)嘌b置能夠形成多個(gè)單位基板。因而，基板加工裝置的形成單位基板的能力變得比以往高。此外，同時(shí)形成條狀基板和單位基板是指兩工序在時(shí)間上至少一部分重疊地執(zhí)行。

第一分?jǐn)嘌b置可以具有第一斷開桿，所述第一斷開桿以與多個(gè)第一劃線平行的方式延伸，并與多個(gè)第一劃線對(duì)應(yīng)地反復(fù)移動(dòng)/分?jǐn)唷?/p>