[發明專利]用于Veeco K465i的清潔平臺及其清潔方法在審
| 申請號： | 201811453909.7 | 申請日： | 2018-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN109261660A | 公開（公告）日： | 2019-01-25 |
| 發明（設計）人： | 趙明明 | 申請（專利權）人： | 江蘇中谷光電股份有限公司 |
| 主分類號： | B08B9/032 | 分類號： | B08B9/032;B08B3/12;B08B13/00;F26B23/00 |
| 代理公司： | 上海信好專利代理事務所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 潘朱慧;朱成之 |
| 地址： | 226017 江蘇省南*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 尾氣管路 清潔平臺 清潔 純水超聲波 沖洗 浸泡 部件組裝 純水沖洗 氮氣吹掃 管路部件 烤箱烘烤 清潔效果 清洗裝置 超聲波 堿洗槽 水洗槽 除塵 拆解 節約 維護 | ||
1.一種用于Veeco K465i的清潔平臺，用于除去附著在Veeco K465i設備尾氣管路內壁的灰塵，其特征在于，包含一體化設置的：
至少兩個相同的堿洗槽，用于放置堿性混合溶液，將尾氣管路部件置于所述溶液中浸泡；
至少兩個相同的純水水洗槽，用于通過純水沖洗尾氣管路部件；
純水超聲波清洗裝置，包含純水超聲波清洗槽；用于將尾氣管路部件放置在所述純水超聲波清洗槽中，通過純水和超聲波進行清潔。
2.如權利要求1所述的用于Veeco K465i的清潔平臺，其特征在于，所述至少兩個相同的堿洗槽相鄰設置在所述平臺第一端，所述純水超聲波清洗裝置設置在所述清潔平臺的另一端，所述至少兩個相同的純水水洗槽相鄰的設置在堿洗槽和純水超聲波清潔裝置之間。
3.一種用于Veeco K465i的清潔方法，采用如權利要求1-2中任一項所述的清潔平臺除去附著在MOCVD設備尾氣管路內壁的灰塵，其特征在于，包含步驟：
S1、將尾氣管路拆解；
S2、使用真空清掃設備，吸除拆解的尾氣管路部件附著的灰塵；
S3、在堿洗槽中注入一定比例的KOH溶液，然后使用不銹鋼棒攪拌均勻；拆解的尾氣管路的部件置于混合好的KOH溶液的堿洗槽中浸泡，要求KOH溶液液面要完全沒過拆解的尾氣管路的部件；
S4、將浸泡好的尾氣管路部件從KOH溶液的堿洗槽中取出，放置純水清洗槽內，使用純水反復沖洗；
S5、將沖洗好的的尾氣管路部件從純水清洗槽中取出，放置于純水超聲波清洗槽中清潔；
S6、取出在純水超聲波清洗槽中的尾氣管路部件，使用氮氣吹掃干凈；
S7、將吹干的尾氣管路部件置于無氧化烤箱烘烤；
S8、將烘烤完畢的尾氣管路部件組裝起來還原。
4.如權利要求3所述的用于Veeco K465i的清潔方法，其特征在于，步驟S3所述的KOH溶液通過在30L純水中加入300g的KOH配制而成。
5.如權利要求3所述的用于Veeco K465i的清潔方法，其特征在于，步驟S4所述的尾氣管路部件在KOH溶液中的浸泡時間為4小時。
6.如權利要求3所述的用于Veeco K465i的清潔方法，其特征在于，步驟S5所述的使用純水沖洗尾氣管路部件的時間為10分鐘。
7.如權利要求3所述的用于Veeco K465i的清潔方法，其特征在于，步驟S6所述的尾氣管路部件在純水超聲波清洗槽中的清潔時間為6小時。
8.如權利要求3所述的用于Veeco K465i的清潔方法，其特征在于，步驟S8所述的無氧化烤箱烘烤的溫度為100℃。
9.如權利要求8所述的用于Veeco K465i的清潔方法，其特征在于，步驟S8所述的無氧化烤箱烘烤的時間為72小時。
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