[發(fā)明專利]六芳基雙咪唑類混合光引發(fā)劑及應(yīng)用

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811451262.4
• 申請日: 2018-11-30
• 公開（公告）號: CN111258180A
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 錢彬;楊金梁;嚴(yán)春霞
• 申請（專利權(quán)）人: 常州格林感光新材料有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/027
• 代理公司: 北京漢德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11328
• 代理人: 劉子文;徐馳

一種六芳基雙咪唑類混合光引發(fā)劑，具有如通式(I)所示結(jié)構(gòu)，其中含有1’?2、2?3’、1?2’和2’?3四種連接位的雙咪唑化合物，且該四種連接位的雙咪唑化合物在混合光引發(fā)劑中的總質(zhì)量百分含量為92％以上，通式(I)中Ar₁、Ar₂、Ar₃、Ar₄、Ar₅、Ar₆各自獨(dú)立地表示取代或未取代的芳基。包含該六芳基雙咪唑類混合光引發(fā)劑的感光性樹脂組合物相容性好、感光度優(yōu)異、顯影垃圾量較少，能夠以干膜和濕膜的方式得到廣泛應(yīng)用。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于光固化技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種六芳基雙咪唑類混合光引發(fā)劑，含有該光引發(fā)劑的感光性樹脂組合物，以及感光性樹脂組合物的應(yīng)用。

背景技術(shù)

印刷電路板、集成電路、薄膜晶體管、半導(dǎo)體封裝等微電子電路的制造通常包括使用光刻法形成抗蝕圖案。光刻法中，對涂覆于基板上的感光性樹脂組合物層或?qū)盈B體，結(jié)合具有規(guī)定圖案的掩膜進(jìn)行曝光，然后采用對曝光部和非曝光部溶解度不同的顯影液顯影，形成抗蝕圖案，再將抗蝕圖案作為掩模對基板進(jìn)行鍍覆和/或蝕刻加工等，從而在基板上形成所需的導(dǎo)體圖案。

隨著精密電子設(shè)備上印刷線路板的微小化，具有高感光度、高解像性和分辨率的感光性樹脂組合物成為研究熱點(diǎn)，而作為感光性樹脂組合物的關(guān)鍵組分之一，光引發(fā)劑被要求具有高的引發(fā)效率、好的體系相容性和好的溶解性等。六芳基雙咪唑類化合物(HABI)是一類非常重要的自由基光引發(fā)劑，在紫外光作用下可光解產(chǎn)生大分子自由基，但是HABI及其衍生物常態(tài)為固體，在體系中的溶解度容易不佳。光引發(fā)劑的充分溶解及分散直接關(guān)系到其在樹脂體系中的引發(fā)效率。

除了溶解度和感光度的要求，目前的研究也更多強(qiáng)調(diào)感光性組合物可水相顯影或水相可加工。若感光性樹脂組合物的組分在顯影液中溶解度較低，則重復(fù)進(jìn)行顯影工序時對顯影液分散性差的不溶性成分會顯著增加，從而出現(xiàn)凝集物(淤渣)。當(dāng)繼續(xù)進(jìn)行顯影工序時，凝集物會重新附著在基板上，可能會導(dǎo)致短路，還會使顯影槽的配管堵塞。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有使用HABI及其衍生物作為光引發(fā)劑的感光性樹脂組合物在形成抗蝕圖案時高感光度、高溶解度和顯影垃圾少等優(yōu)點(diǎn)不能兼具的弊端，本發(fā)明的目的首先在于提供一種HABI類混合光引發(fā)劑。

本發(fā)明的六芳基雙咪唑類混合光引發(fā)劑，具有如通式(I)所示結(jié)構(gòu)，其中含有1’-2、2-3’、1-2’和2’-3四種連接位的雙咪唑化合物，且該四種連接位的雙咪唑化合物在混合光引發(fā)劑中的總質(zhì)量百分含量為92％以上，

通式(I)中，Ar₁、Ar₂、Ar₃、Ar₄、Ar₅、Ar₆可以相同也可以不同，各自獨(dú)立地表示取代或未取代的芳基。所述芳基是指任何從簡單芳香環(huán)衍生出的官能團(tuán)或取代基，例如：苯基、鄰甲苯基、1-萘基(或α-萘基)、2-萘基等。

本發(fā)明的目的還在于提供包含上述混合光引發(fā)劑的感光性樹脂組合物，以及該組合物在制造印刷電路板、保護(hù)圖案、導(dǎo)體圖案、引框線、半導(dǎo)體封裝等方面的應(yīng)用。

包含上述六芳基雙咪唑類混合光引發(fā)劑的感光性樹脂組合物相容性好、感光度優(yōu)異、顯影垃圾量較少，能夠以干膜和濕膜的方式得到廣泛應(yīng)用。

發(fā)明詳述

基于本發(fā)明的目的，以下對各方面進(jìn)行更詳細(xì)的說明。

本申請中的術(shù)語“淤渣”和“顯影垃圾”是指在顯影液中積累起來的物質(zhì)，它不溶于顯影液并會再沉積于已顯影的基底上，從而降低顯影液的效率。

六芳基雙咪唑類混合光引發(fā)劑